| 참조번호 | 품목분류1과-2442 |
|---|---|
| 시행일자 | 2026-08-31 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9026.20-4000 |
| 품명 |
전기식 기체 압력 측정기;MINI-CONVECTRON (-) (P119590)
;275600-2-PE-T-00055 |
| 물품설명 |
(개요) 반도체 몰딩 설비의 진공 챔버에 장착되어 챔버 내부 기체의 압력을 측정하는 장치
- 센서 내부의 필라멘트를 전기적으로 가열하고, 기체 압력에 따른 필라멘트의 열손실 변화로 발생하는 전기저항 변화값을 검출하여 압력값으로 변환 (작동원리) 측정 대상인 진공 챔버와 포트를 연결하여 챔버 내부와 센서 내부가 동일한 압력상태가 되도록 함 2. 센서 내부의 필라멘트를 전기적으로 가열 3. 압력이 낮아 기체가 희박할수록 필라멘트의 열손실이 작아지고, 압력이 높아질수록 열손실이 증가 4. 열손실 변화에 따라 필라멘트의 온도와 전기저항이 변화 5. 필라멘트의 저항변화를 검출하여 기체의 전압값을 측정하고, 측정값을 전기신호로 출력 (주요 구성요소) ㅇ필라멘트: 압력을 실제로 감지하는 핵심센서 ㅇ온도 보정선 : 게이지 몸체나 주변 온도 변화에 따른 측정 오차를 보정 - 압력 변화가 아닌 외부 온도 변화의 영향을 구분하도록 도움 ㅇ실리콘 구: 내부 부품을 조립,고정하고 구조적진동을 줄임 ㅇ핀 : 외부 전자회로와 내부의 필라멘트,보상선을 전기적으로 연결. ㅇ포트 : 게이지를 진공 챔버 또는 배관에 체결하는 연결부 - 챔버 내부 기체가 게이지 내부로 들어와 필라멘트 주변 압력과 같아지도록 함 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제9026호에는 “액체나 기체의 유량ㆍ액면ㆍ압력이나 그 밖의 변량의 측정용이나 검사용 기기(예: 유량계ㆍ액면계ㆍ압력계ㆍ열 측정계). 다만, 제9014호ㆍ제9015호ㆍ제9028호ㆍ제9032호의 것은 제외한다.”가 분류되고,
- 같은 호 해설에서 “(Ⅲ) 액체나 기체의 압력의 측정용 기기ㆍ검사용 기기”에 대해 “압력계(pressure gauge)[예: 압력계(manometer)] : 액체나 기체의 압력을 측정하는 기기이다. 이들 압력계는 기압계가 대기압을 측정하는 것인데 반하여, 압력계는 밀폐된 공간 내의 액체나 기체의 압력을 측정하는 것이란 점에서 기압계와는 구별된다. 압력계의 주요한 형으로는 다음의 것이 있다. … (4) 전기식 압력계(electrical pressure gauge) : 전기적 현상(예: 저항ㆍ전기용량)의 변화나 초음파를 이용하는 것”라고 설명하고 있음 ㅇ 본 물품은 반도체 몰딩 설비의 진공 챔버에 장착되어 기체 압력에 따른 필라멘트의 열손실로 발생하는 전기저항 변화를 검출하여 챔버 내부 기체의 압력을 측정하는 장치임 ㅇ 따라서, 본 물품을 전기식 압력계로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제9026.20-4000호로 분류함 |
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