| 참조번호 | 품목분류1과-2125 |
|---|---|
| 시행일자 | 2026-07-29 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9032.89 |
| 품명 | GAS MODULE; GAS MODULE SINGLE MODE; |
| 물품설명 |
ㅇ (개요) 반도체 등 정밀 제조설비에 사용되는 건식 진공펌프에 장착되는 Gas Module로, 외부에서 공급되는 질소가스를 매니폴드 내부의 6개 채널로 분배하여 진공펌프의 각 부위에 공급하면서, 유량 및 배기채널의 압력상태를 측정하고 각 채널의 솔레노이드 밸브를 자동 구동하여 질소가스 유량을 설정값으로 자동으로 유지하는 장치임
- 용도 : 진공펌프 내부에 적정량의 질소가스를 공급함으로써 공정가스와 부산물의 축적․역류를 억제하고, 부식성 물질에 의한 부품 손상을 줄여 진공펌프의 안정적 운전을 지원 ㅇ 주요 구성요소별 기능 ⓛ 압력조절기(감압밸브) : 다이어프램, 스프링 등으로 구성되며 외부에서 공급되는 질소가스의 압력을 일정하게 유지․안정화하여 매니폴드 바디(분배시스템)에 공급 ② 배기압력센서(Exhaust Pressor sensor) : 분배시스템의 6채널 중 막힘, 역류 이상이 가장 먼저 발생하는 배기채널의 압력상태를 측정하여 해당 압력 상태을 모니터링하고 측정치 PCB에 전달 ③ 매니폴드 바디 : 유입된 질소가스를 최대 6개의 출력 채널로 분기하여 진공펌프내 필요한 위치로 분배(각 채널을 개별 유량 총 유량 사양을 갖추고 있음) ④ 솔레노이드밸브 : 매니폴드의 각 채널로 공급되는 질소가스의 유로를 PCB 신호에 따라 개폐하여 질소가스 공급량을 조절 ⑤ PCB 제어부 : DP cell 및 Exhaust pressure sensor로 부터 측정값을 수집처리하고, 설정값과 비교하여 솔레노이드 밸브 구동․제어신호 생성 ⑦ Flow transducer(DP Cell) : 오리피스 전단과 후단의 서로 다른 압력차이를 계산하여 배기 가스 라인에서 유량, 레벨, 필터 막힘 등을 모니터링하고 PCB에 제공(실제 제어변수인 유량 측정) ㅇ 작동원리 ⓛ 질소가스 인입(Input) 및 감압 : 외부 공급원으로부터 질소 가스가 공급되고 압력조절기(Pressure Regulator)를 통해 매니폴드 입구의 압력을 일정하게 조절(외부공급원→ 질소가스→ Regulator) ② 가스 분배 : 압력이 조절된 질소가스는 매니폴드 내부로 유입되며, 제어신호에 따라 매니폴드 내부의 6개 채널별 솔레노이드 밸브가 개폐되며, 해당 채널로 질소가스가 분배(Regulator → 매니폴드 내부의 솔레노이드 밸브) ③ 유량 및 압력 측정 : 차압식 유량센서(DP cell)는 매니폴드 내부 오리피스 전단과 후단의 압력차를 측정*하여 가스 유량을 산출하고, Exhaust Pressure sensor는 질소가 배분, 즉 배기(EXH)되는 채널 압력 상태를 측정. ④ 측정 정보처리 및 제어신호 생성: 상기 센서로부터 측정된 유량 및 압력 정보는 내장된 PCB로 전달되며, PCB는 해당 측정값을 수집 및 처리하여 설정값과 비교하여 PCB 자체 알고리즘에 따라 제어신호 생성 ⑤ 피드백 제어: 제어신호에 따라 솔레노이드 밸브를 구동하여 유량을 설정된 목표값(Set point)에 맞게 조절하여 유량이 자동으로 유지되도록 하는 피드백 제어 구조를 가짐 ※ 사양서(Table 2, 3) 확인 결과 : 사양서 전체가 SLM(유량) 단위의 목표값(Nominal)·상한(Max)·공차(comments)로 구성되어 있고, Table 3의 Pump Condition별(Pump On / Manual adjust / Auto Shutdown) 유량 배분표는 운전상태에 따라 각 포트(Inlet, 3rd/4th, 4th/5th, LV, SS, Exh)로 자동 배분되는 목표 유량을 규정함. 이는 신고인이 제출한 물품설명서상 “유량을 설정값으로 자동 유지”한다는 서술과 정합함. |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제9032호에는 "자동조절용이나 자동제어용 기기"가, 소호제9032.89호에는 액압식이나 공기식이 아닌 ‘그 밖의 자동조절용이나 자동제어용 기기’가 세분류됨.
- 같은 호 HS해설서에서 “이 류의 주 제7호에 의하여 이 호에는 다음의 것을 포함한다. (A) 액체나 기체의 유량ㆍ깊이ㆍ압력이나 그 밖의 변량의 자동제어용 기기나 온도의 자동 제어용 기기 : 작동이 자동으로 제어되는 요소에 따라 변화하는 전기적 현상에 달려있는지에 상관없다. 이들 요소의 실제 값을 지속적으로나 주기적으로 측정하여 장해에 대해 안정적인 희망치(descired value)로 만들고 유지하도록 설계되어 있다.”라고 설명하고 있고, - 또한, “액체나 기체용의 자동제어용 기기와 온도자동조정장치는 완전한 자동제어용 기기의 일부를 형성하고 있으며 주로 다음의 장치로 구성한다. (A) 탱크의 압력이나 깊이, 실내의 온도 등의 조절해야 할 변량(變量 : variable)을 측정하는 기기 (중략), (B) 희망치(desired value)와 측정치(measured value)를 비교하고 또한 아래 (C)에 기재된 장치를 작동시키는 제어 장치, (C) 기동 장치, 정지 장치ㆍ조작 장치. 이 류의 주 제7호 가목의 의미에 속하는 액체, 기체ㆍ온도를 자동적으로 조정하는 기기는 단일체(single enticty)나 이 류의 주 제3호에 따라서 기능단위기계(functional units)를 형성하는 세 개의 장치로 구성된다.”라고 설명하고 있음 ㅇ 본 물품은 배기 가스 라인에서 유량을 측정하는 장치, 목표 유량과 배분되고 있는 가스의 실제 유량을 비교하여 제어 신호를 생성하는 장치, 제어신호에 따라 실제 유량을 조작하는 장치를 모두 갖춘 유량자동조절기이므로 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제9032.89호에 분류함 |
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