| 참조번호 | 품목분류4과-5006 |
|---|---|
| 시행일자 | 2025-11-13 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8419.89-9090 |
| 품명 | CHEMICAL CIRCULATOR;NES-3123-7;NES-3123-7 |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 반도체 제조 공정 내 습식(Wet) 공정에서 사용되는 화학 용액의 온도 안정화를 위한 유체 순환 장치로써 반도체 제조 장비에서 화학약품(세정약품, 슬러리, 에천트 등)의 온도를 직접 정밀 제어 - 반도체 장비의 내부, 외부 인클로저, 하단부 또는 측면에 장착되고 장비 내 Chemical Tank와 Wafer Processing Module에 직접 연결 - 냉각 및 가열은 펠티에 효과에 의한 전류 기반 제어 방식으로 구동 ․ 온도설정범위 : 15℃∼50℃ / 온도조절 정확성 ± 0.1℃ ㆍ Cooling capacity : 810W / Heating capacity : 1980W ※ CHEMICAL CIRCULATOR가 사용되는 장비에서의 역할 - 구성요소별 기능 ∙ 열전소자*(Thermo-Module) : 전자의 이동으로 내부의 화학용액를 냉각/가열하는 유닛 ∙ Heat conducting plate(알루미늄 재질) : 열전모듈 냉각을 위한 판 ∙ PFA(테프론) 배관 : 화학용액의 이동 통로 ∙ Water Cooling Jacket : 가열된 열전모듈의 냉각을 위한 유닛 ∙ Temperature control sensor : 온도 센서로서, 화학용액의 온도를 측정 ∙ 통신 인터페이스 : RS232C 등 외부 장비와의 연동 가능 * 열에너지와 전기에너지의 변환(상호작용)을 행하는 펠티어 소자로, 냉동기나 항온조 제작 등에 사용됨 ㅇ 작동원리 - 화학용액이 배관을 통해 챔버내로 유입 → 열전모듈에서 화학용액을 가열‧냉각(온도변화) → 설정된 온도에 도달하면 다시 배관을 통해 화학용액 유출 ㅇ 주변기기와의 연관도 |
| 결정사유 |
- 관세율표 제16부 주 제2호 가목에서는 “제84류나 제85류 중 어느 특정한 호(제8409호ㆍ제8431호ㆍ제8448호ㆍ제8466호ㆍ제8473호ㆍ제8487호ㆍ제8503호ㆍ제8522호ㆍ제8529호ㆍ제8538호ㆍ제8548호는 제외한다)에 포함되는 물품인 부분품은 어떠한 경우라도 각각 해당 호로 분류한다.”라고 규정하고 있으므로, 반도체 제조용 기기의 부분품으로 검토하기 이전에 제84류나 제85류의 특정한 호에 포함되는 지의 여부를 우선적으로 검토하여야 함. - 관세율표 제8419호에는 “가열, (중략).. 그 밖의 온도 변화에 따른 방법으로 재료를 처리하는 기계·설비·장치[전기가열식(제8514호의 노(爐)와 오븐과 그 밖의 장비는 제외한다), 실험실용을 포함하며, 일반적으로 가정용으로 사용하는 것은 제외한다]와 전기가열식이 아닌 즉시식이나 저장식 물 가열기”가 분류되고, 제8419.89호에는 “그 밖의 기기”가 세분류됨 • 같은 호 해설서에 “이 호에는 단순히 온도의 변화만을 일으키게 하기 위해서나 온도의 변화(예: 가열·조리·배소·증류·정류·살균·증기·증발·응축·냉각 공정)의 결과로 재료가 변형되도록 하기 위하여 재료(고체·액체·기체)를 가열이나 냉각공정에 놓도록 제작된 기계와 설비가 포함된다.”라고 설명하고 있음 - 따라서 본건 물품은 외부의 제어신호에 따라 화학용액을 냉각 및 가열하여 일정 온도로 유지하도록 처리하는 기계로 제8419호의 용어를 충족하고 반도체 제조장비의 부분품도 제16부 주 제2호의 가목을 우선적용해아 하므로 온도 변화에 따른 방법으로 재료를 처리하는 기계에 해당하므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8419.89-9090호에 분류함. 끝. |
| 이미지건수 | 3 |
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| 자체심의회 | 상정건 |