| 참조번호 | 품목분류1과-1221 |
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| 시행일자 | 2025-04-24 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9032.89-4099 |
| 품명 | MASS FLOW CONTROLLER; FCSDST2050C-4CW2-F5; NI192132; |
| 물품설명 |
- (개요) 이온주입설비(IMPHEAT II) 중 이온을 생성하는 Shield cabinet의 Gas box에 장착되어 가스 유량을 조절하는 기기
- (기능) Gas box에 장착되어 Ion Source chamber에 이온생성을 위한 가스를 설정한 값대로 일정하게 흐르도록 유량을 조절함 - (구성 요소) ① 유량센서 : 가스 유입에 따른 온도 차를 이용하여 유량 감지. ② 브릿지회로 : 유량센서에서 검출된 온도변화를 전기신호로 변환. ③ 증폭회로 : 전기신호를 증폭. ④ 비교제어회로 : 유량센서의 측정값과 설정값을 비교. ⑤ 유량 제어 밸브 : 비교값에 따라 Piezo actuator를 이용하여 가스 유량 조절 ⑥ seal : Gas의 누출 방지 |
| 결정사유 |
- 관세율표 해설서 제9032호의 용어에 “자동조절용 또는 자동제어용의 기기”를 분류하도록 규정함 ‧ 같은 호 해설서에 “(A) 액체 또는 기체의 유량·수위·압력 또는 기타 가변요소의 자동 제어기기 또는 온도 자동조절기기 : 작동이 자동으로 제어되는 요소에 따라 변화하는 전기적 현상에 달려있는지의 여부를 불문한다. 이들 요소의 실제값을 끊임없이 또는 주기적으로 축정하여 장해에 대해 안정적인 희망치로 만들고 유지하도록 설계되어 있다”고 설명하면서 ‧ 또한, “액체 또는 기체의 유량·수위·압력 또는 기타의 변량의 자동조정용기기 또는 온도자동조정용기기는 order(펌프·압축기·밸브·노의 버너 등)가 변량(예: 탱크에서 측정된 액체 또는 실에서 측정된 온도)을 지정치로 회생하게 하는 기기와 연결된다”고 설명함 - 본 물품은 Gas box에 장착되어 Ion Source chamber에 이온 생성을 위한 가스를 설정한 값대로 일정하게 흐르도록 유량을 조절하는 가스 유량 자동조절기기로 “자동조절용 기기”에 해당하므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제9032.89-4099호에 분류함 |
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