| 참조번호 | 품목분류4과-1344 |
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| 시행일자 | 2025-03-21 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-4000 |
| 품명 | BCT (Beam Calibration Target); KA002372; |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 신청물품은 metallic shadow mask로 금속 코팅된 실리콘 멤브레인에 일정한 패턴으로 매우 작은 구멍이 뚫려 있는 구조로 되어있으며, 마스크에 패턴을 생성하는 Multi Beam Mask Writer 장비에 장착되어, 장비에서 내려온 빔이 기판 위에서 올바르게 형성되고 정렬되었는지 확인하기 위한 물품 - 재질 : Titan Grade2 <신청물품> ㅇ 물품의 기능 - 전자 빔은 신청물품에 형성된 패턴의 구멍을 통과하여 faraday cup에 도달, 이를 통해 빔의 위치 및 형태를 측정하고 조정할 수 있음. <신청물품의 장착형태> |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제16부 주 제2호의 나목에서는 “특정한 기계나 동일한 호로 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호나 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용되거나 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호 분류한다.”라고 규정하고, 관세율표 제84류 제11호 다목에서 “제8486호에는 마스크와 레티클(reticle)의 제조ㆍ수리에 전용되거나 주로 사용되는 기계를 분류한다.”고 규정하고 있음.
ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류되며, - 동 호 해설서에는 “(D) 이 류의 주 제9호다목에서 특정한 기계와 기기 그룹에는 (1)마스크(mask)와 레티클(reticle)의 제조용이나 수리용의 기계[예를 들면, 사진식의 포토마스크 제조용 기기(포토플로터(photoplotter)), 마스크와 레티클 수리를 위한 이온 밀링기(ion milling machine) 등]이 포함된다.”라고 해설하고 - (E) 부분품과 부속품 그룹에서는 “부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류하는 기계와 기기의 부분품과 부속품을 포함한다. 이에 따라 이 호에 분류하는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계와 기기에 전용되거나 주로 사용하는 툴홀더(tool holder)와 그 밖의 특수 부착물 등을 포함한다.”라고 설명하고 있음 ㅇ 따라서 본 신청물품은 마스크에 패턴을 생성하는 Multi Beam Mask Writer 장비에 장착되어 장비에서 내려온 빔이 기판 위에서 올바르게 형성되고 정렬되었는지 확인하기 위한 물품으로 제84류 주 제11호 다목의 마스크 제조용 기계에 전용으로 사용되는 부분품에 해당하므로 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8486.90-4000호에 분류함 |
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