| 참조번호 | 품목분류1과-751 |
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| 시행일자 | 2025-03-11 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9031.41-9000 |
| 품명 | AUTOMATIC OPTICAL INSPECTION SYSTEM; PRECION; 1770*1422*1626mm; KR; |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 반도체 패키징 공정의 Wire bonding 작업 후 발생할 수 있는 다양한 불량을 자동으로 검사하는 3D 및 2D AOI(Automated Optical Inspection) 장비(크기 : 1,770×1,422×1,626mm, 중량 : 1,050kg) ㅇ 주요 구성요소별 기능 - FMS 센서 : 2.75μm or 3.5μm 분해능을 갖는 광학계(카메라, 렌즈, 조명장치 등)로 구성되며 검사를 위한 수십장의 영상을 연속 획득 - X,Y,Z 스테이지 : FMS 센서를 좌우, 상하, 전후로 움직이며 이송 - Loader/Unloader : Magazin을 이송, 배출, 적재하여 strip 형상의 반도체 집적회로 반제품을 컨베이어에 진입/배출 - 내장형 PC & 콘솔: 측정 영상을 기준값과 비교하여 양불량 판정 - 컨베이어 : strip의 이송, 적재, 고정을 담당, 컨베이어에 Pusher가 장착되어 검사 마친 strip을 언로더 Magazin 핸들러 부로 배출 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8486호 해설서에는 ‘이 호에는 반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체 디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용하는 종류의 기계와 장치를 분류한다. 그러나 이 호에는 측정, 검사, 화학분석 등의 기계와 기기는 제외한다(제90류)‘ 라고 설명하고 있음.
- 본 물품은 반도체 패키징 공정의 Wire bonding 작업 후 발생하는 불량을 광학적이므로 검사하는 장비이므로 일단 제8486호에는 제외 됨 ㅇ 관세율표 제9031호에는 “그 밖의 측정용이나 검사용 기기(이 류에 따로 분류되지 않은 것으로 한정한다)와 윤곽 투영기”가 분류되고, 소호 제9031.41호에“반도체 웨이퍼와 소자(집적회로를 포함한다) 검사용이나 반도체 소자(집적회로를 포함한다) 제조에 사용되는 포토마스크(photomask)나 레티클(reticle) 검사용”가 세분류되고, - 같은 호 해설서에서 “이 호에는 윤곽투영기 이외에 측정용이나 검사용 기기를 포함한다.”, “이 호에는 광학식 측정과 검사기구도 포함한다.”고 하며,“(5) 광학식 표면검사기” 등을 예시하여 설명함 ㅇ 따라서, 본 물품은 반도체 IC 패키징 공정(Wire bonding)에서 발생한 여러 유형의 불량을 광학적이므로 검사하는 기기이므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제9031.41-9000호에 분류함. 끝. |
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