| 참조번호 | 품목분류1과-570 |
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| 시행일자 | 2025-02-25 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9032.20-0000 |
| 품명 | SYMMETRICAL FLOW CONTROL VALVE SET; 67050-PH52-AAL2; Series 670; CH; |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 측정값과 설정값을 비교하여 조절된 압력신호를 밸브 엑추에이터로 출력하는 컨트롤러와 대칭유량제어밸브 본체(엑추에이터 결합)가 케이블로 연결되는 물품으로 반도체 식각공정의 진공챔버와 진공펌프 사이에 장착 - 사양 : 센서입력(2개), 엑추에이터(DC stepper motor, linear motion), 제어방식(PID), 접속방식(EtherCAT interface) ㅇ 작동원리 - 진공챔버 내부의 센서(미제시)로부터 입력받은 가스 압력 측정값을 외부 호스트 PC로부터 입력받은 설정값과 서로 비교하고, 설정값이 유지되도록 밸브 개폐를 정밀하게 조절하여 공정챔버 내부의 압력을 일정하게 조정함 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제90류 주 제3호에서 “제16부의 주 제3호와 제4호는 이 류에도 적용한다.”라고 규정하고 있으며,
- 제16부 주 제4호에서 “하나의 기계(여러 종류의 기계가 조합된 것을 포함한다)가 각종 개별기기로 구성되어 있는 경우에도(따로 분리되어 있는지 또는 배관ㆍ전동장치ㆍ전력케이블이나 그 밖의 장치로 상호 연결되어 있는지에 상관없다) 이들이 제84류나 제85류 중의 어느 호에 명백하게 규정된 기능을 함께 수행하기 위한 것일 때에는 그 전부를 그 기능에 따라 해당하는 호로 분류한다.”라고 규정하고 있음 ㅇ 본 물품은 측정값을 입력받아 설정값과 비교하고 설정값이 유지될 수 있도록 제어신호를 출력하는 ‘컨트롤러(자동조절기기)’와 설정값이 유지되도록 개폐기능을 수행하는 ‘밸브’가 케이블로 연결되어 공정챔버 내부의 가스 압력을 안정적인 희망치로 자동 조절 기능을 수행하는 기능단위 기계에 해당함 ㅇ 관세율표 제9032호에는 “자동조절용이나 자동제어용 기기”가 분류되며, 제9032.20호에는 “매노우스타트”가 세분류되며, - 같은 호 해설서 “(Ⅰ) 액체나 기체의 유량ㆍ깊이ㆍ압력이나 그 밖의 변량의 자동제어용 기기 …”에서 액체나 기체용의 자동제어용 기기는 “완전한 자동제어용 기기의 일부를 형성하고 있으며 주로 다음의 장치로 구성한다. (A) 탱크의 압력이나 깊이, … 등의 조절해야 할 변량을 측정하는 기기 … (B) 희망치와 측정치를 비교하고 … (C)에 기재된 장치를 작동시키는 제어 장치 (C) 기동 장치․정지 장치ㆍ조작 장치(operating device)”라고 설명하면서, - 또한, 같은 호 해설서에서 “(A) 압력제어기(pressure controller)나 조정기(regulator) : 이것은 기체정류량장치(manostats)로도 불리며, 주로 압력 감응기․지시된 압력과 조정해야 될 압력과 비교(예: 조정 가능한 스프링에 의하여)하는 조절장치ㆍ제어회로를 조작시키는 전기접점이나 작은 밸브로 구성되어 있다. ”라고 설명하고 있음 ㅇ 따라서, 본 물품은 가스 압력을 자동으로 조절하는 “매노우스타트”에 해당하므로, 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제9032.20-0000호로 분류함. |
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