| 참조번호 | 품목분류4과-927 |
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| 시행일자 | 2025-02-20 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9030.82-0000 |
| 품명 | Wafer Level Burn-In System; Ostinato-34; |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 반도체 웨이퍼 상태에서 고온의 조건하에 전압을 인가하여 전류측정을 통해 조기 고장발생 가능성을 선별하기 위한 테스트 장비 ㅇ 물품의 형태 및 구성요소 별 기능 1. Loader부 : Wafer, Probe Card, Chuck 등 Burn-In에 필요한 Object 이송 2. Aligner부 : Wafer, Probe Card, Chuck 을 Align 하여 하나의 Catridge로 Packing 3. Tester Rack부 : Communication 의 host ,Tester 적재 및 Utility 공급 4. Tester부 : Catridge 에 포함된 Wafer 의 Burn-In 작업 시행 및 특성 측정 ① 전압의 발생 및 전류의 측정 : TESTER 내부에 있는 SITE Board에서 전압을 공급받고, 생성된 전압은 Pogo pin을 통해 Probe Card까지 전달되며, Site Board내에 있는 Shunt 저항을 통해 전류를 측정함으로써 초기 불량을 찾아냄 ② 열발생부 : Test 후면에 있는 Chuck에서 고온은 발생되며, Wafer Pack과 직접적으로 접촉하여 열을 전달 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제9030호에 “오실로스코우프ㆍ스펙트럼분석기와 기타 전기적 양의 측정 또는 검사용의 기기(제9028호의 것을 제외한다) 및 알파선ㆍ베타선ㆍ감마선ㆍ엑스선ㆍ우주선 또는 기타 전리선의 검사 또는 검출용의 기기”가 분류되고
- 소호 제9030.82호에는 “반도체 웨이퍼나 소자의 측정용이나 검사용 기기”를 분류토록 규정하고 있음. - 같은 호 해설서에는 “전기량 측정의 주요한 형으로는 다음의 것이 있다. (Ⅰ)전류의 측정, (Ⅱ)전압의 측정, (Ⅲ)저항 및 전도율의 측정, (?)재료의 전기적 특성 및 자기적 특성의 측정 등”을 예시하고 있음. ㅇ 따라서 본 신청물품은 반도체 웨이퍼 상태에서 고온의 조건하에 전압을 인가하여 전류측정을 통해 조기 불량을 선별하는 테스트 장비로 반도체 웨이퍼나 소자의 측정용이나 검사용기기에 해당하므로 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제9030.82-0000호에 분류함. |
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