| 참조번호 | 품목분류4과-730 |
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| 시행일자 | 2025-02-11 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2090 |
| 품명 | Shutter Unit; Y60-2498-000; 550㎜×490㎜×480㎜; JP; |
| 물품설명 |
- 반도체용 노광장비인 FPA-5510IZ 장비 내의 조명계에 장착되어 Wafer 면에 정해진 양의 노광 광(光)이 조사되도록 수은 램프 光을 투광 또는 차광하는 기능을 수행하는 물품
- 주요 구성요소 및 기능 ∙ AC Servo Motor부 : 노광 Shutter 날개를 회전시켜 원하는 시간만큼 Shutter 날개를 열고(open), 닫게(Close) 하는 기능을 수행 ∙ Connector 부 : 노광 Shutter 내부 Photo Switch를 접속하게 하는 기능을 수행 ∙ Shutter 날개부 : Shutter 날개가 회전하여 Wafer 면에 정해진 양의 노광 光이 조사되게 하는 기능을 수행(날개 : 알루미늄 재질) |
| 결정사유 |
- 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체 디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제11호다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류되고
• 같은 호 해설서에서 “이 호에는 반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체 디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용하는 종류의 기계와 장치를 분류한다.”라고 설명하고 있으며 • ‘(B) 반도체 디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기’ 그룹에서 “(4) 석판인쇄 장비(lithography equipment) : 감광액이 도포된 반도체 웨이퍼(wafer) 표면에 회로모형을 전사하는 기계”를 예시하고 있으며 ‘(d) 스텝 앤드 리피트 얼라이너(step and repeat aligner) : 한 번에 하나씩 해당 웨이퍼의 한 부분을 노광하는 투사기술을 사용한다. 마스크에서 웨이퍼(wafer)에 작은 형태로 복사하는 과정(축사, 縮寫)에서 노광(露光)되거나, 동일한 크기로 복사하는 과정에서 노광될 수 있다. 엑시머 레이저(excimer laser)를 향상시키는 것도 포함한다.“를 예로 들고 있음 • 또한 ‘(E) 부분품 및 부속품’ 그룹에서 “부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류하는 기계와 기기의 부분품과 부속품을 포함한다. 이에 따라 이 호에 분류하는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계와 기기에 전용되거나 주로 사용하는 툴홀더(tool holder)와 그 밖의 특수 부착물 등을 포함한다.”라고 설명하고 있음. - 본 물품은 반도체용 노광장비에 장착되어 Wafer 면에 정해진 양의 노광 光이 조사되도록 수은 램프 光을 투광 또는 차광하는 기능을 하는 물품으로 노광장비에 전용되거나 주로 사용되는 부분품으로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 의거 제8486.90-2090호에 분류함. 끝. |
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