| 참조번호 | 품목분류4과-2997 |
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| 시행일자 | 2024-05-24 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-4000 |
| 품명 |
Parts of machines and apparatus specified in Note 11 (C) to Chapter 84 ; FAP,STACKED,ATM,NANO,VITON _ 186596 |
| 물품설명 |
- (개요) EFEM1), LOAD LOCK2), VTM3)으로 구성된 반도체 웨이퍼 이송장비 중 LOAD LOCK 양 끝에 조립되어 대기상태 혹은 진공상태를 유지할 수 있도록 개폐 작동되는 물품
1) EFEM(Equipment Front End Module) : Wafer가 최초, 마지막으로 움직이는 곳으로 자체 Filter를 통하여 Particle이 발생되지 않도록 머무를수 있는 장치 또한 FOUP의 Wafer를 원활하게 Load Lock Chamber로 이송하는 역할을 하는 Robot이 있는 장치 2) VTM(Vacuum Transfer module) : EFEM과 LOAD LOCK(본품)으로부터 이송된 웨이퍼를 PM(Process Module, 가공공정)으로 이송하기 위한 진공상태의 챔버로 내부 압력을 항상 진공으로 유지하고 있는 Robot이 부착되어 있음 3) LOAD LOCK : 대기상태인 EFEM과 진공상태의 VTM사이에 조립되어 EFEM에서 VTM 으로 웨이퍼가 이송되도록 웨이퍼를 일시적으로 보관하며 진공 또는 대기압을 형성 - (구성요소) ① 9 pin connector : Door의 개폐여부 상태 확인 위한 단자 ② 공압 fitting : Tube 연결로 Actuator valve로 공압 공급 ③ Actuator Valve : 공압을 공급받아 controller 신호에 따라 상하 동작 ④ Housing : Actuator 조립, 고정시켜주며 LOAD LOCK에 조립 ⑤ Door : Actuator에 조립되어 개폐되는 door - (작동원리) ① EFEM(대기) → LOAD LOCK으로 웨이퍼 이동시 : VTM측 본품은 close 상태에서 LOAD LOCK 내부가 대기와 동일한 압력에 도달되면 EFEM측 본품 open, 웨이퍼가 LOAD LOCK으로 이동 후 EFEM측 본품 close ② LOAD LOCK → VTM(진공)으로 웨이퍼 이동시 : EFEM측 본품 close 상태에서 LOAD LOCK 내부 압력을 낮춰 VTM과 동일한 압력에 도달하면 VTM측 본품 open후 웨이퍼 이동 |
| 결정사유 |
- 관세율표 제16부 주 제2호 나목은 “특정한 기계나 동일한 호로 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호나 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용되거나 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호 … 로 분류한다.”라고 규정하고
- 같은 표 제84류 주 제11호 다목에서 제8486호에 “보울(boule), 웨이퍼(wafer), 반도체디바이스, 전자집적회로와 평판디스플레이의 권양(捲揚), 취급, 적하(積荷)나 양하”에 전용 또는 주로 사용되는 기계를 분류한다고 규정함 - 관세율표 제8486호의 용어는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체 디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”을 규정하고, 제8486.90-4000호에 “이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기”의 “부분품과 부속품”을 세분류하며 ․ 같은 호 해설서 “(D) 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기”그룹에서 “이 그룹에는 다음 용도에 사용하는 종류의 것으로서, 전용되거나 주로 사용하는 기계와 기기를 포함한다. 예를 들면, … (3) 보울, 웨이퍼(wafer), 반도체 디바이스, 전자집적회로와 평판디스플레이의 권양(捲楊), 취급, 양하(楊荷)와 적하(積荷)용의 기기(예를 들면, 반도체 웨이퍼, 웨이퍼 카세트, 웨이퍼 박스와 그 밖의 반도체 디바이스용 원료를 운송, 취급하거나 저장하기 위한 자동 원료하역기 등)”라고 해설함 - 본 물품은 EFEM, LOAD LOCK, VTM으로 구성된 반도체 웨이퍼 이송장비의 LOAD LOCK 양 끝에 조립되어 대기 혹은 진공상태를 유지하며 웨이퍼가 이송될 수 있도록 개폐작동되는 물품으로, 제84류 주 제11호 다목에 특정한 기계의 부분품에 해당하므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 따라 제8486.90-4000호에 분류함 |
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