| 참조번호 | 품목분류1과-303 |
|---|---|
| 시행일자 | 2024-05-16 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 7020.00-1013 |
| 품명 |
ARTICLES OF GLASS ; PLATE-SCT* ; OD1000*ID10*10.5+0.04/-0.1
* SCT(Susceptor) : CVD(화학적 반응을 통하여 기판에 박막을 증착하는 기술) 공정에서 Glass 지지와 Heating 역할을 하는 제품 |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 석영유리로 만든 원판 형상의 물품 (제시규격: 지름 약 100㎝, 두께 1.05㎝) * 분석소 분석사항 : 겉면은 불투명한 백색이며, 내부는 무색투명한 유리질임 - 용도 : 반도체 장비에 웨이퍼를 고정하기 위한 판* 제조용 * 석영유리로 만든 원판 위에 7개의 원 모양을 홈 가공한 것으로, 반도체 제조공정 중 박막 공정 장비에 장착되어 웨이퍼를 고정하는 물품 - 제조공정 : 소재(석영유리, 직육면체의 유리를 원통 모양 틀로 눌러서 원통 형상으로 만듦) → 절단, 슬라이스 * (수입 후 국내 가공) ①연삭ㆍ가공→②연마→③유로ㆍ홈 형성→④세정ㆍ검사→제품 ① 제품의 형상을 만드는 공정으로 머시닝센터나 레이저가공기를 사용한 소구경 가공 등의 정밀 연삭 기술을 이용함 ② 기판 연마에 적합한 양면 연마기, 구조물이나 소량 제품의 연마에 적합한 단면연마기 등 제품 사이즈나 요구 사양에 맞춰 사용함 ③ 연마 부재들을 결합하여 유로(채널)을 형성하며, 리소그래피와 에칭기술을 이용하여 미세하고 복잡한 유로구조를 가진 제품을 만듦 ④ 클린룸 내에서 정밀세정기술을 이용하여 세정됨 - 성분 : SiO2 (NP) (Al 7, Ca 0.5, Cu <0.01, Fe 0.1, Na 0.1, K 0.03, Li <0.01, Mg 0.02, OH 200) |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제7020호에는 “유리로 만든 그 밖의 제품”이 분류되고, HSK 제7020. 00-1030호에는 “반도체 제조용으로서 석영제품(quartz ware) 제조에 사용되는 석영유리로 만든 것”이 세분류됨 - 같은 호 해설서에서 “이 호에는 이 류의 다른 호나 이 표의 다른 류에 분류하지 않는 유리제품(유리제 부분품을 포함한다)을 분류한다.”, “이들 물품들은 비록 유리 이외의 다른 재료와 결합되어 있더라도 그것이 유리제품의 본질적인 특성을 보유하고 있는 한 이 호에 분류한다.”라고 설명하며 이 호에 포함되는 물품으로 “(1) 공업용품”을 예시함 ㅇ 관세율표 제84류 주 제1호에서 “실험실용 유리제품(제7017호), 유리로 만든 공업용 기기나 그 밖의 물품과 그 부분품(제7019호나 제7020호)”을 제84류에서 제외토록 규정함 - 같은 표 제70류 주 제5호에서 “이 표에서 유리에는 석영유리를 포함한다.”라고 규정함 - 또한 총설에서 “제조과정은 상당히 다르며 다음의 것을 포함한다.”라고 하며, “(IJ) 여러 가지의 방법으로 얻은 블랭크(blank)ㆍ구형 등을 필요한 제품으로 절단하는 방법(cutting out)[특히 용융(鎔融 : fused)석영이나 그 밖의 용융(鎔融) 실리카 제품은 고체 상태의 블랭크나 횡단면이 중공(中空)인 소재로부터 얻는다]”을 볼 때, 본 물품은 석영유리를 소재로 한 것으로 제7003호(주입법과 롤법으로 제조한 유리), 제7004호(인상법과 취입법으로 제조한 유리), 제7005호(플로트 유리와 표면을 연마한 유리)의 유리로 볼 수 없어 제7006호로 분류할 수 없음 ㅇ 본 물품은 반도체 박막 공정 장비에 장착되어 웨이퍼를 고정하기 위한 판을 제조하기 위한 원판 형상의 석영유리 제품으로 제7020호에서 특게하고 있는 반도체 제조용으로서 석영제품(quartz ware) 제조에 사용되는 물품임 ㅇ 따라서, 본 물품은 반도체 제조용으로서 석영제품(quartz ware) 제조에 사용되는 것으로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제7020.00-1013호에 분류함 끝. |
| 이미지건수 | 2 |
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| 자체심의회 | 상정건 |