| 참조번호 | 품목분류3과-631 |
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| 시행일자 | 2024-02-19 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9032.89-4091 |
| 품명 | MASS FLOW CONTROLLER(MFC); FC-PAR7800 SERIES; JP; |
| 물품설명 |
- 반도체 제조 공정 중 웨이퍼의 식각 및 증착에 사용하는 가스를 일정하게 공급해주는 유량 자동조절기기로, 유량센서, 솔레노이드 밸브, PCBA 등으로 구성됨
- 장착위치 : 반도체 제조설비의 Gas Box(IGS 판넬) 내부 - 유량 조절범위 : 10sccm* ∼ 200slm * Standard cubic centimeter per min - 기능 : 열식센서를 통해 솔레노이드 밸브를 개폐함으로써 유량 조절 (신청물품) - 내부 구성요소 및 기능 ① 유량센서 : 가스 유입에 따른 온도차를 이용해 유량을 감지하는 열식센서 ② 솔레노이드 밸브 : 코일에 전류가 인가되어 plunger가 상하 이동함 - 브릿지회로 : 유량센서에서 검출된 온도 변화를 전기신호로 변환 - 증폭회로 : 브리지회로에서 변환된 전기신호를 증폭 - 보정회로 : 증폭된 전기신호를 선형 전압신호로 변환하여 비교제어회로에 출력 - 비교제어회로 : 외부에서 입력된 유량설정 전압신호와 비교한 후, 필요에 따라 밸브구동회로를 구동 - 밸브구동회로 : 설정값과 출력신호의 차가 0이 되도록 밸브를 개폐시킴 (장착위치) |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제9032호에는 ‘자동조절용이나 자동제어용 기기’가 분류되고 소호 제9032.89호에는 액압식이나 공기식이 아닌 ‘그 밖의 자동조절용이나 자동제어용 기기’가 세분류됨.
- 같은 호 해설서에 “이 호에 포함되는 것으로 액체나 기체의 유량ㆍ깊이ㆍ압력이나 그 밖의 변량의 자동제어용 기기나 온도의 자동 제어용 기기 : 작동이 자동으로 제어되는 요소에 따라 변화하는 전기적 현상에 달려있는지에 상관없다. 이들 요소의 실제 값을 지속적으로나 주기적으로 측정하여 장해에 대해 안정적인 희망치(descired value)로 만들고 유지하도록 설계되어 있다.”라고 설명하고 있음 ㅇ 본 물품은 반도체 웨이퍼의 식각 및 증착 공정에 공급되는 가스의 유량을 측정하고, 측정값과 설정값을 비교하여 설정값이 유지되도록 밸브를 개폐함으로써 유량을 조절하는 유량자동조절기임 ㅇ 따라서 본 물품은 액압식이나 공기식이 아닌 기타의 유량자동조절기로 ‘반도체 제조용 기기의 것’이므로, 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호와 제6호에 따라 제9032.89-4091호에 분류함. |
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