| 참조번호 | 품목분류4과-14041 |
|---|---|
| 시행일자 | 2023-07-04 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.40-1090 |
| 품명 |
New Laser Repair; Sculptor1416M |
| 물품설명 |
- (개요) 평판 디스플레이 제조용 포토마스크에 발생된 결함을 레이저를 이용하여 수리하는 장비
- 석영재질 유리기판 위에 금속계 크롬을 이용하여 패턴을 형성하여 포토마스크를 제작하는데, 이 때 패턴에 결함*이 발생하는 경우 레이저 또는 레이저와 가스를 이용하여 패턴 결함을 수정 * (결함종류) ① 투명결함 : CR 패턴이 있어야 할 부분에 패턴이 없는 경우, 레이저와 Cr(CO)6 가스를 이용하여 수정막 형성(Binary CVD 공정) ② 불투명결함 : CR 잔류물이 남거나 이물질이 남은 경우 레이저로 제거(ZAP 공정) ③ 반투명결함(Half-tone) : Half-tone 패턴이 있어야 할 부분에 패턴이 없는 경우, 레이저와 Cr(CO)6 가스를 이용하여 수정막 형성(HT-CVD 공정) - (구성) ① Main Unit : 포토마스크를 안착 및 이동시키고 레이저 발생, 광 강도 조절 및 Cr(CO)6 가스를 공급하여 포토마스크 수리 진행 ② Load/Unload Unit : 포토마스크를 Main Unit으로 loading/unloading ③ Load/Unload Panel : ②을 제어하기 위한 통신 유닛, 모듈 ④ Control Box : 설비 동작 제어를 위한 각종 전기부품(콘센트, 릴레이, PLC 모듈, 모터드라이버와 레이저 출력조정을 위한 레이저 콘트롤러 포함 ⑤ Operation desk : 포토마스크 수리를 위한 레이저 장치 가동 등 조작을 위한 PC 시스템, 모니터, Operation panel, 비상스위치 등으로 구성 ⑥ Pump Unit : CVD 수정 공정 시 발생되는 가스 배출 |
| 결정사유 |
- 관세율표 제16부 주 제4호는 “하나의 기계(여러 종류의 기계가 조합된 것을 포함한다)가 각종 개별기기로 구성되어 있는 경우에도(따로 분리되어 있는지 또는 배관ㆍ전동장치ㆍ전력케이블이나 그 밖의 장치로 상호 연결되어 있는지에 상관없다) 이들이 제84류나 제85류 중의 어느 호에 명백하게 규정된 기능을 함께 수행하기 위한 것일 때에는 그 전부를 그 기능에 따라 해당하는 호로 분류한다.”라고 규정함
- 관세율표 제8486호의 용어는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체 디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”을 규정하고, 제8486.40소호의 용어는 “이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기”를 규정하며 제8486.40-10호에 “마스크와 레티클의 제조용ㆍ수리용 기계와 기기”를 세분류함 - 같은 표 제84류 주 제11호 다목에서 제8486호에는 “마스크와 레티클(reticle)의 제조ㆍ수리”에 전용되거나 주로 사용되는 기계를 분류한다고 규정하며 ㆍ 관세율표 제8486호 해설서 “(D)이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기” 그룹에 “(1) 마스크(mask)와 레티클(reticle)의 제조용이나 수리용의 기계[예를 들면, 사진식의 포토마스크 제조용 기기(포토플로터(photoplotter)), 마스크와 레티클 수리를 위한 이온 밀링기(ion milling machine) 등]”를 예시함 - 본 물품은 레이저와 Cr(CO)6 가스를 이용하여 평판 디스플레이용 포토마스크에 발생된 투명, 반투명 결함에 수정막을 증착하거나 불투명 결함을 레이저로 제거하여 마스크의 결함을 수리하기 위한 Main Unit, Load/Unload Unit, Control Box 등이 함께 제시된 물품인바, 그 전부를 마스크 수리용 기계로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 따라 제8486.40-1090호에 분류함 |
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