| 참조번호 | 품목분류4과-12080 |
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| 시행일자 | 2023-04-04 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2040 |
| 품명 | Silicon Carbide; SILICON COMPONENT; JP; |
| 물품설명 |
- 화학기상증착방식(CVD)으로 제작된 탄화규소(Silicon Carbide, SiC) 재질의 원반 형상 물품(규격 ø 421.64㎜)으로 직경 0.5㎜ 이하의 미세한 수백개의 Gas Hole이 형성되어 있음
- (용도) 반도체 디바이스 제조용 건식 식각 장비의 챔버 내에 장착되어 식각을 위한 Gas의 균일한 분사 및 플라즈마 생성을 위한 고주파 전극 역할을 함 |
| 결정사유 |
- 제84류 주 제1호 가목에 “제68류의 밀스톤(millstone)ㆍ그라인드스톤(grindstone)이나 그 밖의 물품”을 제외하도록 규정하고 있으므로 본건 물품이 이에 해당되는지를 검토해 보면,
- 관세율표 제6815호에는 “석제품이나 그 밖의 광물성 재료의 제품[탄소섬유ㆍ탄소섬유의 제품ㆍ이탄(泥炭)제품을 포함하며, 따로 분류되지 않은 것으로 한정한다]”이 분류되며, - 같은 류 총설에서 이 류에는 “(D) 제28류의 특정 재료로 제조한 물품”이 분류되고, “이들 물품과 완제품의 대부분은 구성재료의 성질보다는 모양을 변형시키는 가공방법(예: 조형, 성형)에 의하여 만든다.”라고 설명하고 있음 - 본건 물품은 제28류(광물성 재료)의 재료를 성형하거나 조형하여 만든 제품이 아니라, 고온의 진공 챔버 내에 기체 상태의 화학물질(메틸트리클로로실란, 수소가스 등)을 반응시켜 흑연(graphite) 기판 위에 탄화규소(SiC)를 생성하는 화학기상증착 방식으로 만들어진 제품이므로 제6815호의 물품에 해당하지 않으며, 제16부 주 제2호 가목의 제84류나 제85류 등 어느 특정한 호에도 분류되지 않으므로, 제16부 주 제2호 나목을 적용함이 타당함 - 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체 디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기기”가, 제8486.90호에는 “부분품과 부속품”이 세분류됨 ·같은 호 해설서 ‘(B) 반도체디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기’ 그룹에서 “(3) 식각(etching)과 스트리핑(stripping) 감광액 박리장비”를 예시하고 있으며, ‘(E) 부분품과 부속품’에서는 “이 호의 기계와 기기에 전용되거나 주로 사용하는 툴홀더(tool holder)와 그 밖의 특수 부착물” 등을 예시하고 있음 ㅇ 따라서, 본건 물품은 반도체 디바이스 제조용 건식 식각(Etching) 장비에 전용되거나 주로 사용되는 부분품과 부속품이므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호 따라 제8486.90-2040호에 분류함 |
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