| 참조번호 | 품목분류3과-932 |
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| 시행일자 | 2023-02-16 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9027.50-9000 |
| 품명 |
STPC3 ; 9010-03
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| 물품설명 |
- 본 물품은 반도체 세척 공정에서 사용되는 초순수*의 입자 청결도를 고정밀도로 측정하는 기기(크기 : 420×430×270mm, 무게 16.1kg)
* Ultra Purified Water : 불순물이 없는 순수한 물 - (측정방법) 초순수를 증발시키고 남은 파티클에 분사한 레이저의 굴절률을 계산하여 파티클의 크기와 개수를 분석 - 블록다이어그램 주요구성요소 · GAS Pressure Regulator : 주입되는 가스의 압력을 조절 · SAMPLE Pressure Regulator : 주입되는 초순수(UPW)의 압력을 조절 · STPC : 네뷸라이저와 히터를 통해 초순수를 증발시키고, 남은 파티클을 CPC로 이동 · CPC(Concentrational Particle Counter) : 부탄올*을 이용해 파티클을 응축시키고, 레이저를 통해 파티클 감지 * butanol : 알코올의 일종 - 주요스펙 · Measurement range: 103 to 1010 particles/mL · Inspection volume rate: 0.5 - 3 μL/min · Threshold sizes: 3, 9, 15 nm · Number of size channels: 1-3 (user configurable) · Dead time between channel adjustment: 5 minutes · Total flow rate: 50-280 mL/min · Ambient temperature range: 15-35℃ · Ambient relative humidity range: 0-85% · Maximum water temperature: 50℃ |
| 결정사유 |
- 관세율표 제9027호에는 ‘물리나 화학 분석용 기기(예: 편광계ㆍ굴절계ㆍ분광계ㆍ가스나 매연 분석기), 점도ㆍ포로서티(porosity)ㆍ팽창ㆍ표면장력이나 이와 유사한 것의 측정용이나 검사용 기기, 열ㆍ소리ㆍ빛의 양의 측정용이나 검사용 기기(노출계를 포함한다), 마이크로톰(microtome)’이 분류되고,
· 같은 호 해설에서는 “(4) 굴절계(refractometer) : 액체나 고체의 굴절률(refractive index) 측정 장치 ··· (8) 가스(gas)나 매연(smoke)의 분석용 기기 ··· (14) 습식 화학분석기(wet-chemical analyser)”를 예시하고 있음 - 본 물품은 반도체 세척 공정 시 사용하는 초순수를 증발시켜 불순물만 남긴 후 레이저를 분사하고 물질을 통과한 빛의 굴절률을 통해 불순물의 크기와 개수를 분석하는 기기임 - 따라서, 본 물품은 제9027호의 ‘화학 분석용 기기’에 해당하므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제9027.50-9000호에 분류함 |
| 이미지건수 | 1 |
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