| 참조번호 | 품목분류4과-9379 |
|---|---|
| 시행일자 | 2022-12-16 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2040 |
| 품명 | AL BODY; ALUMINIUM BODY |
| 물품설명 |
ㅇ 물품 개요
- 반도체 웨이퍼 건식 식각장비에 장착되어 웨이퍼를 고정하는 정전식 척(ESC)의 하부를 구성하는, 디스크 형상에 냉각수로 및 He 가스통로가 형성되고 Anodizing 코팅이 되어 있는 알루미늄 재질의 물품(직경 : 319.6mm, 두께 : 33.31mm) - 정전식 척은 Ceramic Plate, AL Heater, Al Body 등이 접합되어 구성 - 식각장비의 하부 전극(Cathode) 역할 및 냉각수로가 형성되어 ESC의 온도 관리 기능을 수행함 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체 디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제11호다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류되며,
- 같은 호 해설서 ‘(B) 반도체디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기’에서 “건식 플라즈마 식각(dry plasma etching) : 플라즈마(plasma) 에너지 대역에 가스와 함께 원료 물질이 제공되어 이방성 식각형태를 띄게 된다. 건식 식각기(dry-etcher)는 몇 가지 다른 방법으로 기체플라즈마(plasma)를 생성하여 반도체 웨이퍼로부터 박막재료를 제거한다.”라고 예시하고 있으며, - ‘(E) 부분품과 부속품’에서 “부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류하는 기계와 기기의 부분품과 부속품을 포함한다.”라고 설명하고 있음 ㅇ 또한, 같은 표 제16부 주 제2호 나목에서 “그 밖의 부분품으로서 특정한 기계나 동일한 호로 분류되는 여러 종류의 기계에 전용되거나 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호에 분류한다.”라고 규정하고 있음 ㅇ 따라서, 본 물품은 반도체 웨이퍼 식각장비에 장착되는 정전식 척을 구성하는 물품으로서, 웨이퍼 표면을 식각하는 장비의 부분품으로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8486.90-2040호에 분류함. |
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