| 참조번호 | 품목분류4과-4651 |
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| 시행일자 | 2022-07-05 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8479.89-9099 |
| 품명 | Peroxidizer 8.1, High Flow ; 100973 |
| 물품설명 |
ㅇ 물품 개요
- 액체 상태의 H2O2(30%)를 공급받아 기체 상태의 H2O2로 변환하여 Carrier Gas(N2, Ar, He 등)와 함께 반도체 웨이퍼의 산화막을 형성하는 공정 Chamber로 공급하는 장치로서, 액체 H2O2 공급장치와 산화막 Furnace 또는 CVD, ALD 장비 사이에 설치됨 - 작동원리 : Chemical Cabinet 중심부로 Carrier Gas가 흐르면 압력차에 의해 주변부의 H2O2 액체가 Membrane의 미세한 기공을 통과하면서 기체로 변환되어 Carrier Gas와 혼합됨 ㅇ 구성요소 - Chemical Cabinet : Carrier Gas가 흐르는 관과 그 주위를 둘러싼 Membrane과 과산화수가 담길 주변 공간으로 구성됨 - Electronics Box : 기체 상태의 H2O2와 Carrier Gas의 유량 및 혼합 가스가 흐르는 관 주변의 히팅 장치로 온도 제어 |
| 결정사유 |
ㅇ 같은 표 제8479호에는 “이 류에 따로 분류되지 않은 기계류(고유의 기능을 가진 것으로 한정한다)”가 분류되며,
- 같은 호 해설서에서 “이 호에는 고유의 기능을 가진 기계류로서 다음의 조건을 충족시키는 것으로 한정하여 적용한다. (a) 어떤 부나 류의 주에 의하여 이 류에서 제외하지 않은 것이고, (b) 품목분류표의 다른 어떤 류의 호에 특별히 분류하지 않은 것이고, (c) 기계류의 품명·기능이나 형식, 사용 목적이나 사용하는 산업, 범용성 등의 이유 때문에 이 류의 어떤 다른 특정 호에 분류될 수 없는 것”이라고 설명하고 있고, - 이 호의 적용에 있어서 “기계의 기능이 다른 어떤 기계나 기기로부터 별개로나 독립하여 작용될 수 있는 기계”는 ‘고유의 기능’을 가진 것으로 간주한다고 해설하고 있음 ㅇ 따라서, 본 물품은 액체 과산화수소를 멤브레인을 통과시켜 기체로 변화시키는 고유한 기능을 가진 제84류에 따로 분류되지 않은 기계에 해당하므로 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8479.89-9099호에 분류함 |
| 이미지건수 | 1 |
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