| 참조번호 | 품목분류2과-14148 |
|---|---|
| 시행일자 | 2022-03-14 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9031.80-9099 |
| 품명 | 12 inch Pad Wafer |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 도프처리된 실리콘 웨이퍼의 한쪽면에 알루미늄 박막/표면에 격자 무늬와 일정한 배열의 패턴·숫자가 미세하게 형성되어 있는 폴리이미드 박막 순으로 적층한 원판상 1개를 플라스틱 케이스에 포장한 것 - 용도 : Probe Card의 Bottom면에 부착되는 Micro Canti(8만∼15만개 내외)가 해당 제품 Wafer의 사양에 맞게 정확한 위치에 구성되었는지를 검사*하기 위한 물품 * Micro Canti를 PAD Wafer에 Contact하여 발생된 Scrub Mark로 Micro Canti의 위치 정확도 검사 < 물품 이미지 > ㅇ 신청 물품의 규격 - 재질 : Si Wafer, 규격 : 300㎜, 중량 : 0.16㎏, 직경 12 inch, 두께 775㎛ - 알루미늄 박막 : 8000Å (0.8um), 폴리이미드 박막 : 4㎛ - 도프처리 면: 앞면, 도프처리된 화학물질: B(Baron), 1015∼17㎝^3 ㅇ 개별 기능 및 역할 ① 실리콘 웨이퍼: 고객의 wafer와 유사한 물리적 특성(열 팽창량 등) ② 알루미늄 박막 : PAD 구성층 알루미늄(AL)으로, Probe Card의 Micro Canti가 Contact시 PAD에 긁힘 흔적(Scrub Mark)이 발생될 수 있도록 도포 ③ 폴리이미드 박막 : Micro Canti가 Contact 되는 알루미늄 박막 이외 부분을 폴리이미드 박막으로 도포하여 PAD의 패턴 형성 ㅇ 확대경 관찰 사진에 표시된 패턴과 숫자에 대한 화주 설명 ㅇ 테스트 방식 : 물리적인 긁힘 테스트 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제9031호에는 “그 밖의 측정용이나 검사용 기기(이 류에 따로 분류되지 않은 것으로 한정한다)와 윤곽 투영기”를 분류하며, 소호 제9031.80호에는 균형시험기, 테스트벤치(test bench), 그 밖의 광학식 기기에 해당하지 않는 “그 밖의 기기”를 세분류하고 있음
- 같은 호 HS해설서에서 “이 호에는 윤곽투영기(profile projector) 이외에 측정용이나 검사용 기기를 포함한다(광학식인지에 상관 없다).”라고 설명하며, “(14) 검사용 표준기(checking standard)”를 측정용이나 검사용 기기에 포함되는 것으로 예시하여 설명하고 있음 ㅇ 본 품의 알루미늄박막과 폴리이미드 박막으로 이루어진 패턴은 Chip size, Pad size, Chip x/y array, Pad x/y 좌표값, align mark 등을 통하여, Pad center를 기준으로 프로브카드의 핀(micro canti)이 정확한 위치에 구성되었는지 테스트하고, 프로브 카드의 핀을 정확한 위치로 수정하기 위한 용도의 물품임 ㅇ 따라서, 본 물품은 프로브 카드 핀을 정확한 위치로 맞추기 위한 기준으로 사용되는 물품이므로 그 밖의 측정용이나 검사용 기기로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제9031.80-9099호에 분류함 |
| 이미지건수 | 2 |
| 관련 이미지 |
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| 자체심의회 | 상정건 |