| 참조번호 | 품목분류4과-1260 |
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| 시행일자 | 2022-03-02 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2030 |
| 품명 |
ELECTRO STATIC CHUCK(CHUCK-P1C-SMS-01) |
| 물품설명 |
- (개요) 반도체 웨이퍼 건식 식각(ething) 장비에 장착되어 정전력을 이용하여 웨이퍼를 하부 전극에 고정하는 정전식 척(chuck)으로, 원형의 알루미늄 바디 상부에 세라믹 척 플레이트가 결합된 형태
- (세부구조) 세라믹 척 플레이트, 접착층, 알루미늄 바디의 3층 구조로, 세라믹 척 플레이트 상부에는 웨이퍼 흡착을 위한 전극이 있고 아노다이징(anodizing) 알루미늄 바디에는 He(헬륨)가스 유로 및 냉각 채널이 형성되어 있음 - (작동원리) 척(chuck) 내부에 고전압 직류를 인가하면 척 플레이트 표면이 양전하 또는 음전하로, 웨이퍼 표면 또한 음·양전하로 대전되어 상호 기전력을 통해 웨이퍼를 수평으로 지지·고정 |
| 결정사유 |
- 관세율표 제16부 주 제2호 나목은 ‘특정한 기계나 동일한 호로 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호나 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용되거나 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호’에 분류하도록 규정하고
- 관세율표 제8486호의 용어는 ‘반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체 디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제11호 다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품’을 규정함 ·같은 호 해설서에서 ‘(B) 반도체디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기’로서 ‘(3) 식각(etching)과 스트리핑(stripping) 감광액 박리장비’를 예시하고, ‘(E)부분품과 부속품’그룹에서 “이 호에 분류하는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계와 기기에 전용되거나 주로 사용하는 툴홀더(tool holder)와 그 밖의 특수 부착물 등을 포함한다.”라고 해설함 - 본 물품은 반도체 웨이퍼 식각장비에 장착되어 정전력을 이용하여 웨이퍼를 고정하는 정전식 척이므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 따라 제8486.90-2030호에 분류함 |
| 이미지건수 | 1 |
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