| 참조번호 | 품목분류4과-9211 |
|---|---|
| 시행일자 | 2021-11-23 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9032.89-4091 |
| 품명 | ENHANCED GAS BOX ; 571-004400-003 |
| 물품설명 |
반도체 제조용 건식식각 장비(TCP9400PTX)에 장착되어 식각공정에 필요한 가스의 공급을 조절하는 용도에 사용되는 장치로서, Tank Facility로부터 공급받은 가스를 PM(Process Module)으로 정밀하게 조절하여 공급함
Manual shut off valve, Regulator, Pressure transducer, Filter, Three way valve, MFC, Two way valve 등이 순차적으로 연결된 12개의 가스조절 라인과 신호전달을 위한 전기적인 연결부문 및 가스공급부품(Three way, Two way Valve 제어)의 동작을 위한 공압장치로 구성됨 주요 구성요소 · Regulator : 공급된 가스 압력 조절 · Pressure transducer : 가스의 압력 표시 · Gas filter :공정가스 흐름에 포함된 불순물 제거 · MFC(Mass Flow Controller) : Control Board, Thermal Sensors, Pressure Sensors, By pass, Solenoid valve 등으로 구성되어 있으며, 설정된 값에 따라 정확한 가스의 유량을 조절하도록 PID Control로 솔레노이드 밸브를 제어*하고, 측정된 값을 본 장비로 보내는 역할 수행 · 각종 valve : 진행, 차단, 배기, 순환 등 가스경로 조절 * 솔레노이드 밸브 제어 : 가스 용량 대비 2～100%로 입력값을 설정할 수 있으며, 설정된 가스량에 맞게 전압값(100～5,000mV)을 변환하여 조절 |
| 결정사유 |
- 관세율표 제16부 주 제1호 타목에서 이 부에서 제외하는 것으로 “제90류의 물품”을 규정하고 있으며,
· 같은 부 해설서 총설에서 “이 부에는 제16부의 주나 제84류와 제85류의 주의 규정에 의하여 제외하는 것과 다른 부에 보다 구체적으로 열거한 물품을 제외한 여러 가지의 기계류와 전기기기와 이들의 부분품과 기계식이나 전기식이 아닌 특정의 장치와 설비와 그 부분품을 포함한다.”라고 설명하고 있음 - 관세율표 제9032호에는 “자동조절용이나 자동제어용 기기”가 분류되며, · 같은 호 해설서에서 “이 류의 주 제7호에 의하여 이 호에는 다음의 것을 포함한다. (A) 액체나 기체의 유량, 깊이, 압력이나 그 밖의 변량의 자동 제어용기나 온도 자동조절기기 : 작동이 자동으로 제어되는 요소에 따라 변화하는 전기적 현상에 달려있는지에 상관없다. 이들 요소의 실제 값을 지속적으로나 주기적으로 측정하여 장해에 대해 안정적인 희망치(descired value)로 만들고 유지하도록 설계되어 있다.”라고 설명하고 있고, · 또한, “액체나 기체용의 자동제어용 기기와 온도자동조정장치는 완전한 자동제어용 기기의 일부를 형성하고 있으며 주로 다음의 장치로 구성한다. (A) 탱크의 압력이나 깊이, 실내의 온도 등의 조절해야 할 변량(變量 : variable)을 측정하는 기기 (중략), (B) 희망치(desired value)와 측정치(measured value)를 비교하고 또한 아래 (C)에 기재된 장치를 작동시키는 제어 장치, (C) 기동 장치, 정지 장치ㆍ조작 장치. 이 류의 주 제7호 가목의 의미에 속하는 액체, 기체ㆍ온도를 자동적으로 조정하는 기기는 단일체(single enticty)나 이 류의 주 제3호에 따라서 기능단위기계(functional units)를 형성하는 세 개의 장치로 구성된다.”라고 설명하고 있음 - 본 물품은 반도체 제조용 건식식각 장비에 필요한 가스의 공급을 조절하는 장치로서, 가스의 변량을 측정하는 센서와 설정값과 측정값을 비교하고 밸브를 제어하는 장치와 기동·정지·조작 장치 등이 결합된 유량 자동조절 기기에 해당됨 - 따라서 본 물품을 반도체 제조용 기기의 유량자동조절기로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제9032.89-4091호에 분류함 |
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