| 참조번호 | 품목분류3과-20193 |
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| 시행일자 | 2020-12-18 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9011.80-9000 |
| 품명 | INDUSTRIAL MICROSCOPE(L200N) |
| 물품설명 |
ㅇ 물품의 개요
- 웨이퍼를 Loading & Unloading 하는 기능이 장착되고, 반도체 웨이퍼의 표면 검사하여 불량 검출하는 광학식 현미경 ㅇ 물품의 형태 및 구성요소별 기능 1) NWL200 : 외관검사하기 위해서 웨이퍼를 Loading & Unloading 기기 ① Feeder arm : Magazine에 있는 Wafer를 이송하는 Unit ② Buffer section : Wafer를 검사하기 위해 Vacuum으로 고정하는 Unit ③ Elevator section : Magazine 1~25 Slot move Unit ④ fiber optic illumination : 조명 unit ⑤ emergency stop button : 비상정지 버튼 ⑥ USB LAN : 통신 PORT ⑦ Operation/display section : 설비 운영을 위한 조작판넬 2) L200N : 고배율로 웨이퍼 표면 검사하여 불량 검출 ① Exchange arm : NWL200 => L200N move Unit ② IC inspection microscope : 고배율 현미경 ③ Dedicated stage : X-Y Axis move stage ④ Theta rotation knob : knob을 이용하여 Wafer 360° 회전하여 검사 ⑤ fine movement handle : X-Y Axis 미세동작 이동 handle ⑥ Coarse movement handle : X-Y Axis 큰 동작 이동 handle⑦ Dedicated microscope base plate : L200N전용 plate 3)카메라 : 현미경에서 관찰된 상을 별도의 PC 화면으로 전달하는 디지털카메라(신청물품에는 제시되지 않은 물품) 본 신청물품 모델의 완성된 상태는 카메라가 장착된 상태이나 사전심사 신청물품은 위 설명한 물품에서 디지털 카메라가 없는 상태로 수입되며, 사진을 저장하기 위한 저장장치도 없음. 본 신청물품은 제시된 상태에서 카메라 기능이 없는 일반 광학현미경처럼 시료의 관찰이 가능한 기기 렌즈의 배율에 따라 100배~1,000배 확대가능 |
| 결정사유 |
- 관세율표 제9011호에는 “광학현미경(마이크로 사진용·마이크로 영화촬영용…의 것을 포함한다)”이 분류되고,
● 동 호 해설서에서 “이 호의 광학현미경은 이미 확대된 물체의 상을 관찰하기 위하여 다시 제이단계의 확대를 행하는 기구가 갖추어져 있다. 광학현미경은 보통 ‘(I)광학장치 : 주로 물체의 확대상을 얻도록 설계된 대물경과 그 확대상을 더 증대시키는 접안경으로 구성된다 …, (II)시료대’로 구성되어 있으며 … 이 호에는 대중용·교사용·공업용 또는 연구실용 등의 현미경이 분류된다.”라고 해설하고 있음 - 신청물품은 본래 카메라를 장착하여 마이크로 사진용 현미경으로 사용될 물품이나, 카메라와 기록장치 없이 제시되었고, 제시된 상태로는 일반 광학현미경으로 사용가능한 물품임 - 따라서 본 물품은 반도체 웨이퍼의 표면을 확대 검사하여 불량 검출의 목적으로 사용되는 광학현미경에 해당하므로 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 제9011.80-9000에 분류함 |
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