| 참조번호 | 품목분류3과-18458 |
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| 시행일자 | 2020-10-12 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | SILICON ELECTRODE ; SI ELECTRODE ; 325.000mm(외경) |
| 물품설명 |
ㅇ 물품 개요
- 실리콘 재지르이 원반상 물품으로 가장 자리에 플라즈마 건식 식각 장비 상단에 장착할 수 있도록 구멍이 뚫려 있고 내부에는 수백개의 미세한 Gas hole(직경 0.5㎜ 이하)이 일정한 간격으로 형성되어 있는 물품 ㅇ 주요 사양 - 크기 : 325㎜(외경) - 성분 : Si(Silicon, 규소) 99.999999% ㅇ 용도 - 반도체 제조장비 중 플라즈마 건식 식각장비의 챔버 내에 장착되어 식각 Gas의 균일한 분사 및 플라즈마 생성을 위한 고주파 전극 역할을 하는 물품 ㅇ 제조 공정도 - 실리콘을 Ingot 형태로 성장(붕소를 첨가하여 저항안정화 작업 포함) → 컷팅 후 2차 열처리(저항 안정화 작업) → 미세홀 드릴링 → 홀에칭 → 면에칭 → 폴리싱 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류되며,
- 같은 호 해설서 ‘(B) 반도체디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기’ 그룹에서 “건식 플라즈마 식각 장비”를 예시하고 있고, - ‘(E) 부분품과 부속품’ 그룹에서 “부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류하는 기계와 기기의 부분품과 부속품을 포함한다. 이에 따라 이 호에 분류하는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계와 기기에 전용되거나 주로 사용하는 툴홀더(tool holder)와 그 밖의 특수 부착물 등을 포함한다.”라고 설명하고 있음 ㅇ 본건 물품은 제8486호에 분류되는 건식 플라즈마 식각장비의 챔버 내 설치되어 식각 Gas의 균일한 분사 및 플라즈마 생성을 위한 고주파 전극 역할을 하는 물품으로 반도체디바이스 제조용 기기에 전용되도록 특별히 설계된 부분품임 ㅇ 따라서, 본건 물품은 플라즈마아크방식에 의한 반도체재료의 건식식각 패턴용의 가공공작기계 부분품으로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8486.90-2010호에 분류함 |
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