| 참조번호 | 품목분류3과-14887 |
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| 시행일자 | 2020-05-29 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8542.39-4090 |
| 품명 | Digital Absolute Pressure Sensor ; KP254 |
| 물품설명 |
ㅇ 본 물품은 대기압 측정용의 물품으로서,
- 압력측정을 위한 MEMS(Microelectro Mechanical System) 압력셀과 온도측정센서 및 신호처리를 위한 능수동소자로 구성된 집적회로를 하나의 실리콘 웨이퍼에 반도체 일괄공정으로 함께 구성한 것으로서, 물품 전면에는 기체의 압력 통로 역할을 하는 구멍(Hole)이 있음 - 실리콘 Die를 Package 공간 안의 리드프레임 위에 놓고, 실리콘 Die를 보호하기 위해 내부를 Gel로 채워져 있음 - 압력에 의한 MEMS의 Capacitance값의 변화를 측정하여 압력을 측정하며, 본 물품 내부의 온도측정센서를 이용해 온도 보상을 함으로써 정확한 대기압을 측정하게 되며, 측정된 대기압력값과 온도값은 디지털신호형태로 외부기기로 송신됨 ㅇ 압력센서 - 폴리실리콘으로 만들어진 Membrane이 외부의 공기압에 의해 물리적 변형이 발생하게 되면, Membrane과 내부공간 사이의 간극이 변화하고, 이는 Membrane과 내부공간 하단부위 사이에 형성된 캐피시턴스(Capacitance)를 변화시키는데, 이를 이용해 압력을 측정함 - 총 4개의 압력셀(가변 압력셀 2개, Reference Cell 2개)이 만들어져 있으며, 두 개의 Reference Cell을 이용하여 각각의 가변 압력셀에서 +p, -p값을 가지게 되어, 측정신호 대비 큰 신호를 얻을 수 있음 - 일반적인 반도체 일괄공정으로 형성함(Deposition Layer and Lithography(Cavity) → Deposition layer and Lithography and Etching → Etching(Cavity) → Depositon Layer(Cavity sealing)) ㅇ 온도센서 - 온도 변화에 따른 정확한 대기압 측정값을 보정하기 위한 것으로서, 온도 변화에 따라 저항 값이 달라지는 저항체의 역할을 수행하는 다이오드와 트랜지스터로서, 트랜지스터의 전압이 온도에 따라 변화됨 ㅇ 각 구성요소별 설명 - Pressure Cell : 압력에 의해 Capacitance가 변하는 MEMS - Temperature Sensor : 온도에 의해 저항값이 변하는 저항체 - Normal Mode / Diagnostic Mode :정상/고장 진단 변경 - ADC : Analog 신호를 Digital 신호로 변환 - Digital Signal Processing : Digital 신호의 노이즈 성분을 제거하여 정확한 신호를 얻기 위한 디지털 필터로 구성됨 - Temperature Compensation : 측정된 온도를 이용하여 입력 값을 보정 - Digital Core : 측정된 디지털값을 EEPROM Data를 이용하여, 설정된 압력/온도로 변환 및 보상 - SPI interface : SPI통신을 수행 - EEPROM interface : EEPROM read/write를 수행 - EEPROM : 사용자의 출력 Parameter를 저장 - Voltage regulator : 외부전원을 IC내부의 Digital/Analog 전원으로 변환 - Reset : IC reset ㅇ Target Application (Data sheet) - Automotive application - Industrial control - Consumer application - Medical applications - Weather Station - Altimeters (신청물품) (신청물품 내부) (신청물품 블록다이어그램) (압력셀 제조공정) (압력셀_휘트스톤 브리지) (압력셀) |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제85류 주 제9호에서 ‘4)복합부품 집적회로(MCOs)’에 대하여 ‘하나 이상의 모노리식, 하이브리드 또는 복합구조칩 집적회로에 다음 구성부품을 최소한 하나 이상 결합한 것이다 : 실리콘 기반센서ㆍ엑츄에이터ㆍ오실레이터ㆍ공진기 및 이들의 결합물, 또는 제8532호ㆍ제8533호ㆍ제8541호에 분류되는 물품의 기능을 수행하는 부품 또는 제8504호에 분류되는 유도자’라고 규정하면서,
- ‘“실리콘 기반 센서”는 마이크로전자 또는 기계구조물로 구성된 것으로 덩어리 상태로 또는 반도체 표면에 만들어지고, 물리적ㆍ화학적 양을 감지해 이를 전기신호(전기적 속성의 변화 또는 기계구조 변위의 결과로 발생)로 변환하는 기능을 한다. “물리적 또는 화학적 양”은 압력, 음파, 가속, 진동, 운동, 방위, 왜력, 자기장의 세기, 전기장의 세기, 빛, 방사능, 습도, 흐름, 화학물질의 농도 등 실제 현상과 관련된 것이다.’라고 규정함 - 또한 ‘이 주에서 규정한 물품을 분류하는 경우 제8541호나 제8542호는, 제8523호의 경우를 제외하고, 특히 그 기능으로 보아 해당 물품을 포함하는 것으로 해석되는 이 표의 다른 어느 호보다 우선한다.’라고 규정함 ㅇ 관세율표 제8542호는 ‘전자집적회로’를 규정하고 있고, - 같은 호 해설서에서 “전자집적회로는 수동소자나 수동부품과 능동소자나 능동부품을 고밀도로 조합시킨 초소형화된 장치이며, 단일유닛으로 간주하는 것이다.”라고 규정하고 있음 ㅇ 본 물품은 각종 능수동소자가 하나의 실리콘 웨이퍼에 단일공정으로 제조된 모노리식 집적회로에 폴리실리콘재질의 멤브레인이 외부 공기압에 의해 물리적 변형이 발생하면 캐패시턴스가 변하는 원리로 외부 공기압에 의해 변화된 전기신호를 출력하는 실리콘기반센서가 결합된 기타의 복합부품 집적회로에 해당하므로 관세율표해석에관한통칙 제1호 및 제6호에 따라 HSK8542.39-4090호에 분류함 |
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