| 참조번호 | 품목분류4과-1006 |
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| 시행일자 | 2020-02-28 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | Parts of dry plasma etching equipment; TOP GROUND RING, 615-00325-007-P01 |
| 물품설명 |
ㅇ 반도체 소자 제조장비 중 Oxide 막 제거를 하는 300mm 건식 플라즈마 식각 장비의 Chamber 내부에 장착하여 Ground path(접지경로) 역할 및 웨이퍼의 정상적인 식각을 유도하는 링 형상의 물품
- 재질 : AL6061-T6 + Anodized(산화처리) - 규격 : 외경 379.2mm, 내경 345.8mm, 두께 34.6mm |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류되며, 소호 제8486.90호에 “부분품과 부속품”을 세분류하고 있음
- 같은 호 해설서의 “(B) 반도체디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기” 그룹에서 “건식 플라즈마 식각(dry plasma etching)”을 이 그룹에 분류되는 것으로 예시하고 있으며, - “(E) 부분품과 부속품” 그룹에서 “부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류하는 기계와 기기의 부분품과 부속품을 포함한다. 이에 따라 이 호에 분류하는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계와 기기에 전용되거나 주로 사용하는 툴홀더(tool holders)와 그 밖의 특수 부착물 등을 포함한다.”라고 설명하고 있음 ㅇ 따라서, 본 물품은 반도체 디바이스 제조에 사용되는 건식 플라즈마 식각 장비의 전용 부분품에 해당하므로 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8486.90-2010호에 분류함. |
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