| 참조번호 | 품목분류3과-11383 |
|---|---|
| 시행일자 | 2020-01-31 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8543.70-9090 |
| 품명 | RF GENERATOR ; TS05-F080-30-C |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 반도체 제조공정 중 박막공정에서 화학기상증착(CVD)장비에 플라즈마를 발생시키기 위한 에너지 소스(Radio Frequency)를 제공하는 RF GENERATOR (13.56MHz, 1.2kW) - 직사각형상의 금속 하우징에 RFC board, AMP board, CPU, Control Panel, Filter Board, Power Supply, Senesor Unit, RF 출력장치, 냉각장치(수냉, 공냉) 등이 일체로 조립되어 있음 ㅇ 주요 구성요소 및 구성요소별 기능 - Power Supply : AC(220V)를 DC 변환하고, RFC board에 48V 공급, CPU board에 24V 공급 - RFC board : RF 발진기 등을 이용하여 RF 신호 주파수 발생 - AMP board : RF 주파수와 파형을 원래대로 유지하면서 파워레벨을 증폭(1.2kW) - Filter board : 원치않는 RF 주파수가 출력되지 않도록 노이즈 제거 - Sensor unit : CPU board가 출력 전력을 조절 가능토록 출력 전력을 피드백 - CPU board : 기기의 전체적인 동작 제어 - Control Panel : 외부에 있는 버튼을 눌러 신청물품을 제어하고 신청물품의 상태를 디스플레이 ㅇ 블록 다이어그램 ㅇ 연결되는 주변기기와의 연관도 - 본품은 반도체 제조용 기계에 내장된 RF matching network와 동축케이블로 연결되며 본품에서 발생된 RF는 RF matching network와 연결된 전극(electrode)을 통하여 hamber 내부로 전달됨 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8543호의 용어는 ‘그 밖의 전기기기(이 류에 따로 분류되지 않은 것으로서 고유의 기능을 가진 것으로 한정한다)’를 규정하고
- 같은 호 해설서에서 “이 호에는 이 류의 다른 호에 해당되지 않고 품목분류표의 다른 류의 호에 특히 분류되지 않으며 또한 제16부 또는 이 류의 법정 주를 적용하여도 제외되지 아니하는 모든 전기기기가 포함된다. (중략) 이 호의 기기의 대부분의 것은 전체가 전기적으로 작동되는 전기기기 또는 부분품[진공관·변압기·축전기·초크·저항기 등]의 조립품으로 구성된다.”라고 해설하며 이 호에 포함되는 것으로 “(2) 신호발생기(signal generators, 이들 기기는 감지된 파형이나 진도의 신호를 지정 주파수(예: 고주파나 저주파)인 전기적신호로 만들어내는 기기이다. 이 기기에는 특히 임펄스발생기ㆍ패턴발생기ㆍ윔뷸레이터(wobbulators : 스윕발생기)를 포함한다.)”, “(9) 고주파나 중간주파의 증폭기(계측 증폭기와 안테나 증폭기를 포함한다)”를 예시하고 있음. ㅇ 본 품은 반도체 제조공정 중 박막공정에서 화학기상증착(CVD)장비에 플라즈마를 발생시키기 위한 고주파 전원장치로서, 관세율표 제8543호의 해설서에서 이 호에 포함되는 물품으로 예시 설명하고 있는 신호발생기, 고주파나 중간주파의 증폭기와 유사한 물품이고, 관세율표 제85류에 따로 분류되지 않는 고유한 기능을 갖는 그 밖의 기기에 해당하므로 관세율표 제8543.70호에 분류하여야 함. ㅇ 따라서, 본 품은 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호와 제6호 규정에 따라 제8543.70-9090호에 분류함. |
| 이미지건수 | 1 |
| 관련 이미지 |
|