| 참조번호 | 품목분류4과-7943 |
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| 시행일자 | 2019-03-27 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | Part of Dry plasma etching equipment; P3013415 SiC 4.6T FOCUS RING_AMEC PRIMO |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
상단 내경부의 탄화규소(SiC) 재질의 ring상과 하단 및 외경부의 알루미나(Al2O3) 재질의 ring상이 결합된 것으로, 결합부와 하단 외경부 일부에 polymer sheet gasket이 부착됨 - 제시규격 : ∅327.5mm, T 4.7mm - 용도 : 웨이퍼를 지지하는 가공물 홀더 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류되며, 소호 제8486.90호에 “부분품과 부속품”이 세분류됨
- 같은 호 HS 해설서에 (B) 반도체디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기에 분류되는 물품으로 “건식 플라즈마 식각 장비”를 예시하고 있고, 부분품과 부속품의 분류규정은 제16부 총설 참조토록 설명하면서 특히, “이 호의 기계와 기기에 전용되거나 주로 사용되는 툴홀더와 그 밖의 특수 부착물 등을 포함한다”라고 설명하고 있음 ㅇ 따라서 본 물품은 탄화규소 재질의 ring상과 알루미나 재질의 ring상 등이 결합된 조립품으로 건식 플라즈마 식각 장비에 전용되도록 설계된 부분품으로 제8486.90-2010호로 분류함 |
| 이미지건수 | 2 |
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