| 참조번호 | 품목분류4과-4523 | ||||
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| 시행일자 | 2018-09-20 | ||||
| 시행기관 | 관세평가분류원 | ||||
| 결정세번 | 6903.10-9000 | ||||
| 변경내역 |
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| 품명 |
Other refractory ceramic goods; 200MM SUSCEPTOR HOLDER, ASM TOP+BOTTOM RING KIT; EPILON2000; JAPAN
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| 물품설명 |
○ 물품 개요
- 웨이퍼 EPI growing* 진행시 웨이퍼가 안착되어 회전판 역할을 하는 탄화규소(SiC)로 코팅된 흑연제 디스크상 ⓛSusceptor와, - Susceptor를 둘러싸는 부분으로 탄화규소로 코팅된 흑연제 ②Bottom 및 ③Top ringr 으로 구성된 kit * EPI growing : 실리콘 웨이퍼 위에 단위격자가 2차원적으로 배열되도록 단결정 박막(Si)을 화학기상증착하는 공정(챔버내 온도 1,180˚C) - 주요 제조공정(제시 공정) 원료(코크스) → 1차 granulation(분쇄) → kneading Coke & pitch(결합제 혼합) → 2차 granulation(분쇄) → CIP(성형) → Bake & graphitization(2,500 ~3,200˚C, 고순도 graphite Block 형성) → maching → purification → SiC Coating - 물품 사진 |
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| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제6903호에는 “그 밖의 내화성 도자제품(예: 레토르트·도가니·머플·노즐·플러그·서포트·큐펠·관·쉬드·막대)(규산질의 화석 가루나 이와 유사한 규산질의 흙으로 만든 제품은 제외한다)“를 분류하고, 소호 제6903.10호에는 ”흑연이나 그 밖의 탄소 또는 이들 혼합물의 함유량이 전 중량의 100분의 50을 초과하는 것”으로서 기타 내화성 도자제품을 세분류하고 있음
ㅇ 관세율표 제69류 주 제1호에서 “이 류는 성형한 후에 불에 구워서 만든 도자제품에만 적용한다.”라고 규정하고 있고, - 같은 류 제1절(제6901호-제6903호) 해설서 총설(B)에서 “제6902호 및 제6903호의 내화제품”에 대하여 ”고온(예 : 1,500℃정도나 그 이상의 온도)에서 견디는 특수한 성질을 가지고 있는 소성된 제품들이다. … 고온에서 견딜 뿐만 아니라 고온도 작업용으로 제작된 것이어야 한다. … 내화나 반내화라고 표현한 제품이라도 … 고온에 견딜 수 없는 제품은 제6902호와 제6903호에서 제외한다.”라고 규정하고 있음 ㅇ 본건 물품은 관세율표 제8486호에 분류되는 반도체 웨이퍼 제조 장비에 사용되는 부분품이나, - 관세율표 제84류 주 제1호 나목은 “도자제의 기계류와 기계류의 도자제 부분품”은 이 류에서 제외토록 규정하고 있고, - 성형 후 2,500 ~ 3,200˚C의 고온에서 흑연화를 거친 것으로 고온에서 견디는 성질을 가진 내화성 도자제품임 ㅇ 따라서 본 물품은 흑연화된 내화성 도자제품이므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 의하여 제6903.10-9000호에 분류함 |
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| 관련 이미지 |
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