| 참조번호 | 품목분류3과-1034 |
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| 시행일자 | 2017-02-28 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8543.70-9090 |
| 품명 | OZONE GENERATOR UNIT; OG-260V |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 반도체 제조라인에 설치되어 반도체 ALD(Atomic Layer Deposition:원자층증착) 공정에서 반도체 웨이퍼 상의 산화막 증착시 오존의 강한 산화력을 소스로 하여 박막증착을 하기 위해 고순도·고농도의 오존을 발생시키는 기기임. (신청물품) (내부구조도) ㅇ 구성요소 및 기능 - Inverter: 고압전원 공급장비(AC 220V→DC 3,000V) - 발생기: 전극 구조로 전압이 가하면 플라즈마 방전 발생 - 오존농도계: 오존 농도를 측정 - 컨트롤러: 산소압력 및 유량조절 ㅇ 작동원리 - 오존발생기에 산소를 공급하여 내부의 방전관을 통해 고압의 전력을 방전함으로써 고압 전극의 플라즈마에 의해 산소(O2)가 원소 분해를 하여 불안정한 산소(O) 원소가 산소(O2)와 결합하여 오존(O3)이 발생되는 원리 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8543호에 “그 밖의 전기기기(이 류에 따로 분류되지 않은 것으로서 고유의 기능을 가진 것으로 한정한다)”가 분류되고
- 같은 호 해설서 “이 호에 해당하는 전기기기는 고유의 기능을 갖지 않으면 안된다.”고 해설하고, 이 호에 포함하는 것으로 “치료 목적이 아닌 전기식 오존발생(ozone generating)기와 확산기기(diffusing apparatus)(예: 공업용ㆍ구내의 오존화용)”를 예시함. ㅇ 따라서 본건 물품은 반도체 ALD공정에서 산화막 증착을 위한 오존을 발생시키는 기기로 “고유한 기능을 가진 기타의 전기기기”로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 제1(제8543호의 용어)호 및 제6호에 따라 제8543.70-9090호에 분류함. |
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