| 참조번호 | 품목분류1과-2082 |
|---|---|
| 시행일자 | 2016-07-13 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8479.89-9099 |
| 품명 | - Central Chemical Supply System ; 1) CCB, 2) CDU, 3) CMU |
| 물품설명 |
가. 물품개요
- 반도체 또는 평판디스플레이 등의 제조공정에서 사용되는 고순도의 화학용액(Chemical, 이하 ‘약액’이라 칭함)을 외부로부터 공급받아 이물질을 제거하고 관리값에 해당하는 농도로 희석 등하여 약액을 공급하는 설비 <신청물품 전체 연관도> 나. 신청물품별 상세설명 1) CCB(Coupling Clean Booth) - 기능 ㆍ탱크로리로부터 약액을 오염없이 저장탱크(미신청물품)로 공급 - 구성 ㆍ탱크로리로 질소가스를 공급하기 위한 N2MQC(Female Coupler)와 가스배관(필터, 감압밸브 내장), 탱크로리로부터 약액을 공급받기 위한 Chemical ACQC(Female Coupler)와 배관, 약액 공급부 세정을 위한 초순수 분사기, 밸브(메뉴얼, 공기압), 안전장치인 Fume 제거용 Exhaust Duct, 불꽃감지 센서 및 열감지 센서 등 EMS(비상시 정지 시스템)이 금속제의 하우징에 일체형으로 장치 - 작동원리 ① 탱크로리로부터 질소(N2) 이송용 호스를 본 품 CCB 내부의 N2MQC(Female Coupler)에 체결 ② 탱크로리로부터 약액 이송용 호스를 본 품 CCB 내부의 Chemical ACQC(Female Coupler)에 체결 ③ PLC 프로그램에 따라 탱크로리부터 저장탱크로 약액 공급(약액 이송시 빠져나간 약액 만큼 질소를 탱크로리 등에 공급하여 가압시켜 약액 공급이 가능토록 함), 약액 이송이 완료되면 Flow Sensor가 이를 감지하고 밸브를 닫아 N2가압을 중지하여 압력 해소하고, 위 “②”의 Chemical ACQC(Female Coupler)를 초순수(DIW)로 세정하고 N2로 건조시킴 - 물품사진 2) CDU(Chemical Dispense Unit) - 기능 ㆍ약액 내의 이물질을 제거하고 약액을 CMU(신청물품 “3”)으로 공급 - 구성 ㆍ약액이 흐르는 배관, Diaphragm 펌프, Magnetic 펌프, Chemical Filter, Flow Meter, Pneumatic Valve 등이 금속제 하우징에 일체형으로 장치 - 작동원리 ① 약액이 보관된 드럼과 커플러를 체결 ② Diaphragm 펌프를 작동시켜 드럼으로부터 저장탱크로 약액 이송 ③ 저장탱크로 N2를 공급하고 Magnetic 펌프를 작동시켜 저장탱크로부터 약액을 필터로 이송시킴 ④ 이송된 약액이 Chemical Filter(맴브레인 필터, 카트리지 교체용)를 거치면서 이물질 제거 ⑤ Flow Meter로 이송되는 약액의 유량을 측정하고 제어 ⑥ 최종 사용장소로부터 공급 요청 신호를 받으면 밸브가 열려 약액을 3) CMU로 공급 - 물품사진 3) CMU(Chemical Mixing Unit) - 기능 ㆍ관리값에 해당하는 농도의 약액을 공급하도록 초순수와 약액을 믹싱(희석)하여, 최종 사용장소로 희석된 약액 공급 - 구성요소 ㆍMeasuring Tank, Mixing Tank, Magnetic 펌프, 농도계, 약액과 질소 이송용 배관, 각종 밸브 등이 금속제 하우징의 내부에 일체형으로 장치 - 작동원리 ① “2) CDU"로부터 약액(원액)을 공급받아 Measuring Tank에 저장 ② 초순수(DIW)를 Mixing Tank로 투입하고 설정된 시간 후에 약액을 Measuring Tank로부터 Mixing Tank로 이송하여 약액 희석(교반기 없이 단순 섞임) * Measuring Tank 내 약액의 양이 High Level 이상이고, 본 품 내부의 Mixing Tank 내 약액의 양이 Low Level이하일 경우, PLC 제어 신호에 따라 약액 이송(방법 : N2가스로 가압) ** 초순수와 약액 희석(믹싱)하는 방법 : 믹싱 탱크에서 물과 약액 단순 섞인 후, 배관을 타고 흐르면서 믹싱이 이뤄짐 ③ Mixing Tank 내 약액의 양이 Middle Level 이상이 되면, PLC 제어 신호에 따라 Magnetic 펌프를 구동하여 희석된 약액을 이송 ④ Flowmeter로 이송되는 약액의 유량 측정ㆍ제어 ⑤ 농도계로 이송된 약액의 농도를 측정하여 관리값과 일치하면 PLC 제어 신호에 따라 최종 사용장소(Point Of User)로 이송 - 물품사진 |
| 결정사유 |
- 본 품은 1) CCB, 2) CDU, 3) CMU 기계를 함께 설치하고 배관으로 연결하여 반도체 등 제조공정에 화학용액을 공급하는 장치이므로, 기능단위기계(Functional Unit)로 분류가능한지 검토해야 함.
- 관세율표 제16부 주 제4호에서 ‘하나의 기계(여러 종류의 기계가 결합된 것을 포함한다)가 각종의 개별기기로 구성되어 있는 경우에도(따로 분리되어 있거나 배관ㆍ전동장치ㆍ전력케이블 또는 기타의 장치로 상호연결되어 있는 것인지의 여부를 불문한다) 이들이 제84류 또는 제85류 중의 어느 호에 명백하게 규정된 기능을 함께 수행하기 위한 것일 때에는 그 전부를 그 기능에 따라 해당하는 호에 분류한다’라고 규정하고 있고, ㆍ같은 제16부 총설 ‘(VII) FUNCTIONAL UNITS’에서 아래 형태의 물품을 기능단위기계로 예시하여 설명하고 있음 (3) 관개시스템 : control station(필터, 주입기, 계량밸브 등으로 구성됨)과 지하배수관·지관·지상배관시설로 이루어진다(제8424호). (5) 양조장기계 : 발아기, 맥아파쇄기, 반죽통, 여과통 등으로 구성된다(제8438호)... (7) 아스팔트 플랜트(Asphalt plant) : 피드 호퍼(feed hopper), 컨베이어, 건조기, 진동체, 혼합기, 저장통과 제어장치 등의 각각 분리된 기기들로 구성되어 있으며 나란히 장치되어 있다(제8474호). - 본 품은 고순도의 약액(Chemical)을 외부로부터 공급받아(“1) CCB”) 이물질을 제거(“2) CDU”)하고 일정한 농도로 희석하여 약액을 반도체 또는 평판디스플레이 등의 제조공정에 공급(“3) CMU”)하는 설비로, ㆍ관세율표 제16부 총설에서 기능단위기계로 예시하고 있는 관계시스템 등을 보면 이물질을 제거하는 필터, 혼합기, 공급부 등은 단일기능을 수행하기 위한 기계에 필수적인 기기로 보아 전체를 하나의 기계로 분류하고 있고, ㆍ공급한 약액이 반도체(등) 제조공정에서 사용가능하려면 반드시 이물질을 제거하여야 하고 일정한 농도로 희석하여야 하므로, 본 품은 ‘반도체 제조공정에서 사용하는 약액을 공급’하는 단일기능을 함께 수행하기 위한 기계에 해당함. - 또한, 본 품 “1) CCB”, “2) CDU”, “3) CMU”가 연결되어 수행하는 단일기능이 관세율표 제84류 또는 제85류 중 어느 호의 기능에 해당하는 지 검토해 보면, - 관세율표 제8479호에는 ‘이 류의 다른 곳에 열거되지 아니하거나 포함되지 아니한 기계류(고유의 기능을 가진 것에 한한다)’을 분류하면서, ㆍ같은 호의 해설서 ‘(Ⅲ) 기타의 각종 기계류’에서 ‘(4) 펌프형 자동그리스 주입기’를 이 호에 포함되는 물품으로 예시 설명하고 있고, - 본 품 “1) CCB”, “2) CDU”, “3) CMU”가 연결되어 수행하는 단일기능은 관세율표 제8479호에 분류되는 “펌프형 자동 그리스 주입기”와 유사한 기능이고, 관세율표 제8479호의 전(前)호에 해당하지 않는 ‘고유한 단일기능’임 - 따라서, 본 품 1) CCB, 2) CDU, 3) CMU은 제16부 주 제4호의 기능단위기계에 해당하고 단일기능이 관세율표 제8479호의 기타의 고유한 기능에 해당하므로, ㆍ관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호(제16부 주 제4호, 제8479호의 용어)와 제6호 규정에 따라, 전체를 고유한 기능을 갖는 기타의 기계가 분류되는 HSK 제8479.89-9099호에 분류함 |
| 이미지건수 | 3 |
| 관련 이미지 |
|