| 참조번호 | 품목분류3과-2044 |
|---|---|
| 시행일자 | 2016-06-16 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9027.50-9000 |
| 품명 | Automatic Concentration Monitoring System(이하 ACS), ACS-PACM, ACS-Talys |
| 물품설명 |
○ 물품개요
반도체 제조공정(FPD: Flat Panal Display 생산) 중 Etching(식각)과 Strip 공정에서 사용되는 Chemical의 농도를 실시간으로 측정하여, 그 측정 결과에 따라 투입되는 Chemical 상태를 항상 일정하고 안정한 공정 조건으로 유지시켜주는 장비 ○ 구성요소 : 금속캐비넷, NIR(Near Infrared, 근적외선)농도분석기, PACM 농도측정기, 컴퓨터, 모니터, 전원공급부 등으로 구성되어 있음 ○ 구성요소 및 기능 ① 경고등 : 설정값 또는 비상상황 발생시 알람 신호 발생 ② 모니터 : 농도 분석된 자료를 시각적으로 표현해주는 디스플레이부 ③ 키보드와 마우스 : 중앙처리장치의 입력장치 ④ Safety Unit : 과전류 및 전기기계기구의 손상 등을 방지하기 위한 전원공급 장치 ⑤ NIR(Near Infrared, 근적외선)농도분석기 : 공정 중 사용중인 약액의 농도를 측정, 분석하여 실시간으로 해당 농도를 확인 가능 ⑥ PC : 농도 분석에 필요한 여러 가지 프로그램을 내장한 중앙처리장치 ⑦ PACM 농도측정기 : 공정 중 발생한 폐액 내에 특정 물질의 농도를 측정하여 약액의 수명을 예상하거나 교환 시기를 확인 가능 ○ 작동원리 - NIR 농도분석기 : 농도분석기와 반도체 FPD 생산 공정 라인(strip : PR layer의 제거 공정)이 광케이블로 연결되어 있으며, 농도분석기에서 LED 램프에 전윈이 켜지면 빛이 광케이블 통하여 FPD 생산공정에서 사용되고 있는 사용Chemical에 입사되면서 농도에 따라 투과되는 빛이 return하여 분석기로 보내줌으로써 측정하며, - PACM 농도측정기 : 측정기와 반도체 FPD 생산 공정 라인(etching : 금속 layer의 식각 공정)이 튜브로 연결되어 있으며, 튜브를 통하여 측정기 내부로 유입. 유입된 약액은 Fllow Cell를 통하여 LED 램프를 지나가면 시료의 농도에 따라 달라지는 광의 흡수량을 측정 분석함 |
| 결정사유 |
○ 관세율표 제90류 주3은 ‘제16부의 주 제3호 및 제4호는 이 류에도 적용한다.’고 규정하고 있음
○ 관세율표 제9027호에는 “물리 또는 화학 분석용의 기기(예: 편광계ㆍ굴절계ㆍ분광계ㆍ가스 또는 매연 분석기), 점도ㆍ포로서티ㆍ팽창ㆍ표면장력 등의 측정 또는 검사용의 기기와 열ㆍ소리ㆍ빛의 양의 측정 또는 검사용의 기기(노출계를 포함한다) 및 마이크로톰”이 분류되며 - 관세율표 제9027.50호는 “기타의 기기(자외선·가시광선·적외선을 사용하는 것만 해당한다)”를 세분류하고 있음 ○ 따라서, 본 물품은 LED(가시광선)을 이용하여 반도체 제조공정 중 Etching(식각)과 Strip 공정에서 사용되는 Chemical의 농도를 실시간으로 측정 분석하는 장비로서 “그 밖의 측정용이나 검사용 기기(자외선·가시광선·적외선을 사용하는 것으로 한정한다)”에 해당하므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제9027.50-9000호에 분류함 |
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