| 참조번호 | 품목분류1과-661 |
|---|---|
| 시행일자 | 2016-04-08 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.20-7000 |
| 품명 | DRYER FOR WAFER; KRONOS-ELF; MDP21401; |
| 물품설명 |
- 반도체 세정공정의 마지막 단계인 DRY 공정을 수행하는 장비로서, 식각 및 세정공정 후, DIW(초순수)에 녹아 있던 물질과 WAFER 표면의 Si가 결합되어 형성된 WATERMARK(DRY 불량)를 제거하면서 WAFER 표면을 건조시키는 기능을 수행
- IPA(icosapentaenoic acid) 증기를 유입시켜 DIW와 IPA간의 표면장력 차이를 이용하여 WAFER 표면의 WATERMARK를 제거 - 주요 구성 ·MECHA : 드라이어 작동을 위한 자동화 파트 ·CHAMBER : 건조를 위한 웨이퍼가 위치하는 공간 ·IPA BUBBLER : IPA를 이용한 건조프로세스를 수행 |
| 결정사유 |
- 관세율표 제84류 주9 라목은 ‘제16부의 주 제1호와 제84류의 주 제1호의 규정에 따라 적용될 호가 정하여지는 경우를 제외하고, 제8486호의 표현을 만족하는 기계는 이 표의 다른 호로 분류하지 않으며, 제8486호로 분류한다’고 규정함.
- 관세율표 제8486호는 ‘반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기 등’이 분류되고, 같은 호 해설서는 ‘이 호에는 반도체 볼 또는 웨이퍼·반도체디바이스·전자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계와 기기를 분류한다.....(B) 반도체 디바이스 또는 전자집적회로 제조용 기계와 기기...이 그룹에는 반도체 디바이스 또는 전자집적회로를 제조하기 위한 기계 및 기기가 분류된다. 예를 들면....(3) 식각 및 잔류감광액 박리장비 : 웨이퍼 표면을 식각 및 세척한다’고 규정함. - 본 물품은 IPA(icosapentaenoic acid) 증기를 유입시켜 DIW와 IPA간의 표면장력 차이를 이용하여 WATERMARK를 제거하는 등 ‘웨이퍼 표면을 세척하는 공정’의 일부에 해당하므로, 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8486.20-7000호에 분류함. |
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