| 참조번호 | 품목분류2과-9900 |
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| 시행일자 | 2015-12-21 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | Parts of machines and apparatus for making semiconductor devices; SUSCEPTOR(1067-227-01, SUSCEPTOR-302/GSO/RA2); R.KOREA |
| 물품설명 |
본품은 반도체 제조공정중 웨이퍼 위에 균일한 산화막을 형성하는 플라즈마 원자층 증착장비의 부분품으로 웨이퍼를 올려놓는 플레이트로서 본품의 상부는 웨이퍼가 안착될 수 있도록 Pocket(단가공)이 형성되어 있고, 하부에는 웨이퍼의 온도를 조절할 수 있는 서셉터 히터와 조립되도록 설계됨
- 재질 : 알루미늄 - 규격 : 외경(394mm), 무게(3.2kg) |
| 결정사유 |
ㅇ관세율표해설서 제16부 제2호 나목에서“기계의 부분품으로서 특정한 기계 또는 동일한 호에 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호 또는 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용 또는 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호에 분류한다.”라고 규정하고 있음
ㅇ관세율표 제8486호는“반도체 보울 또는 웨이퍼·반도체디바이스·전자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기 및 부분품과 부속품”을, 제8486.40호는 “반도체웨이퍼 위에 막을 형성하거나 금속을 증착하는 기계”를 규정함. -동호 해설서에서 “반도체 디바이스 또는 전자집적회로 제조용 기계와 기기 그룹에는 웨이퍼 가공 공정에서 웨이퍼 표면에 여러가지 막을 형성하는 막 형성 장비가 포함된다.”고 해설하고, 웨이퍼 위에 산화막을 형성하는 ‘산화로’를 예시하며 -또한 (E) 부분품 및 부속품그룹에서는 “부분품의 분류에 관한 일반규정 (제16부 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류되는 기계 및 기기의 부분품과 부속품을 포함한다. 이에 따라 이 호에 분류되는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계 및 기기에 전용 또는 주로 사용되는 툴 홀더 및 기타 특수 부착물 등이 포함된다.”라고 추가적 으로 설명하고 있음 ㅇ본 물품은 반도체 제조공정중 웨이퍼 위에 균일한 산화막을 형성하는 플라즈마 원자층 증착장비의 부분품으로 증착공정 진행시 웨이퍼를 올려놓는 장치이므로, 반도체웨이퍼 위에 막을 형성하거나 금속을 증착하는 기계(제8486.20-4000호로 분류)의 전용 부분품으로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 의거 제8486.90-2010호에 분류함 |
| 이미지건수 | 2 |
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