| 참조번호 | 품목분류2과-9272 |
|---|---|
| 시행일자 | 2015-12-01 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | Parts of machines and apparatus for making semiconductor devices ; HEATER PLATE(2101-041072A) ; R.KOREA |
| 물품설명 |
ㅇ 물품의 개요
- 반도체 웨이퍼 위에 산화막을 형성하는 장비의 REACTOR에 장착되어 온도를 높이는 기기 ㅇ 물품의 형태 및 기능 - 규격 : 외경(390mm), 내경(171mm), 두께(12mm) - 히터바디(티타늄 재질)에 온도를 측정하는 T/C가 장착된 열선 PATTERN을 삽입 후 상부 COVER를 덮은 형태 - 산화막을 형성하는 플라즈마원자층 증차장비에서 반응성 기체의 적절한 반응을 위한 온도 조절의 기능을 수행 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표해설서 제16부 제2호 나목에서“기계의 부분품으로서 특정한 기계 또는 동일한 호에 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호 또는 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용 또는 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호에 분류한다.”라고 규정하고 있음
ㅇ 관세율표 제8486호는“반도체 보울 또는 웨이퍼·반도체디바이스·전자 집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기 및 부분품과 부속품”을, 제8486.40호는 “반도체웨이퍼 위에 막을 형성하거나 금속을 증착하는 기계”를 규정함. - 동호 해설서에서 “ 반도체 디바이스 또는 전자집적회로 제조용 기계와 기기 그룹에는 웨이퍼 가공 공정에서 웨이퍼 표면에 여러가지 막을 형성하는 막 형성 장비가 포함된다.”고 해설하고, 웨이퍼 위에 산화막을 형성하는 ‘산화로’를 예시하며 - 또한 (E) 부분품 및 부속품그룹에서는 “부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류되는 기계 및 기기의 부분품과 부속품을 포함한다. 이에 따라 이 호에 분류되는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계 및 기기에 전용 또는 주로 사용되는 툴홀더 및 기타 특수 부착물 등이 포함된다.”라고 추가적으로 설명하고 있음. ㅇ 본 물품은 반도체 웨이퍼 위에 산화막을 형성하는 장비의 REACTOR에 장착되어 온도를 높이는 기계로 제8486.20-4000호로 분류되는 반도체웨이퍼 위에 막을 형성하거나 금속을 증착하는 기계의 부분품에 해당하므로 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 의거 제8486.90-2010호에 분류함 |
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