| 참조번호 | 품목분류2과-8566 |
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| 시행일자 | 2015-11-06 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | Parts of Apparatus for Wet etching equipment ; HEATER(NPS HEATER RHP300) |
| 물품설명 |
반도체 제조공정 장비 중 반도체 웨이퍼를 식각하는 장비(습식식각 장비,(장비명:VENUS) 내에 설치되어 고온 인산식각을 위해 163도 이상의 질화물 식각과정에서 온도 균일도를 향상 시키기 위한 기능의 열처리용 Heater Lamp 모듈임
o 구성요소 및 기능 ① Lamp : Heater Housing에 84개가 삽입되어 하부에 위치하는 웨이퍼의 온도를 올리기 위한 열원 ② Heater Housing : Lamp, 전원공급 장치 등이 조립된 Main body로 과온 방지를 위한 PCW유로가 형성되어 있음 ③ O-ring : Heater(Lamp모듈) 내부로의 약액 징부 방지를 위한 실링용 ④ Quartz Window : 열원인 Lamp로부터 방사되는 복사에너지는 웨이퍼로 전달하면서 약액으로부터 Heater(Lamp모듈)를 보호하기 위함 ⑤ Window Clamp Ring : Quartz Window와 O-ring이 밀착되어 씰링을 할 수 있도록 체결함 ⑥ PCW Inlet/Outlet Port : Lamp turn on시 발생되는 Heater body를 과온으로부터 보호하기 위한 냉각수 공급,회수 연결구 ⑦ Heater Power Connector : Lamp 점등을 위한 전원 공급용 연결부 o 신청물품 이미지 |
| 결정사유 |
o 본 품은 반도체 웨이퍼 제조공정중 습식식각공정장비 내에 설치되어 고온 인산식각을 위해 163도 이상의 질화물 식각과정에서 온도 균일도를 향상 시키기 위한 기능의 열처리용 Heater Lamp 모듈임
o 관세율표해설서 제16부 주 제2호 나목에 “그 밖의 부분품으로서 특정한 기계나 동일한 호로 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호나 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용되거나 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호에 분류한다.”라고 규정하고 있고, o 관세율표 제84류 주 제9호 라목에는 “제16부의 주 제1호와 제84류의 주 제1호의 규정에 따라 적용될 호가 정하여지는 경우를 제외하고, 제8486호의 표현을 만족하는 기계는 이 표의 다른 호에 분류하지 아니하며, 제8486호에 분류한다.“라고 규정 하고 있음 o 관세율표 제8486호에는 "반도체 보울 또는 웨이퍼·반도체디바이스·전자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용 되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호다목에서 특정한 기계와 기기 및 부분품과 부속품"이 분류되고 제8486.90호에는 “부분품 및 부속품”을 세분류 하고 있음 - 같은 호 해설서 (E)부분품 및 부속품에 "부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 주 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류 되는 기계 및 기기의 부분품과 부속품을 포함한다. 이에 따라 이 호에 분류되는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계 및 기기에 전용 또는 주로 사용되는 툴 호울더 및 기타 특수 부착물 등이 포함된다"고 해설하고 있음 o 따라서 본 물품은 반도체 제조장비인 습식식각장비에 전용으로 사용되는 열처리용 Heater Lamp 모듈로 동 기계의 부분품으로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 따라 제8486.90-2010호에 분류함 |
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