| 참조번호 | 품목분류2과-6964 |
|---|---|
| 시행일자 | 2015-09-04 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | Part of Dry plasma etching equipment ; SILICON FOCUS RING(FOR CERAMIC ESC) (WHITE BOX W/O DS STICKER) ; R.KOREA |
| 물품설명 |
외경 260mm, 내경 196.4mm, 두께3.4mm 크기의 실리콘 링으로 외경부에 2개의 홈이 있어 장치 내부에 장착할 수 있도록 되어 있으며, 내경부에 200mm웨이퍼를 놓을 수 있게 홈가공 되어 있음(순도: Si 99.9999%)
- 용 도 : 건식 플라즈마 식각 장비에 장착하여 웨이퍼 식각공정을 진행함에 있어 플라즈마를 웨이퍼로 모아 주는 역할 및 웨이퍼를 직접 지지하는 홀더 역할을 수행 |
| 결정사유 |
o 본 품은 플라즈마 식각장비에 장착하여 웨이퍼 식각공정을 진행함에 있어 플라즈마를 웨이퍼로 모아 주는 역할 및 웨이퍼를 직접 지지 하는 홀더 역할을 수행하는 건식 플라즈마 식각장비의 소모성 부분품임
o 관세율표 제8486호에는 "반도체 보울 또는 웨이퍼·반도체디바이스· 전자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용 되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호다목에서 특정한 기계와 기기 및 부분품과 부속품"이 분류되고 제8486.90호에는 “부분품 및 부속품”을 세분류 하고 있음 - 같은 호 해설서 (E)부분품 및 부속품에 "부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 주 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류 되는 기계 및 기기의 부분품과 부속품을 포함한다. 이에 따라 이 호에 분류되는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계 및 기기에 전용 또는 주로 사용되는 툴 호울더 및 기타 특수 부착물 등이 포함된다"고 해설하고 있음 o 따라서 본 물품은 전자집적회로 제조용의 기기인 건식 플라즈마 식각 장비에 전용되는 부분품이므로 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 따라 제8486.90-2010호에 분류함 |
| 이미지건수 | 1 |
| 관련 이미지 |
|