| 참조번호 | 품목분류2과-6540 |
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| 시행일자 | 2015-08-19 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 7020.00-1019 |
| 품명 | Other article of fused quartz ; TEL QUARTZ RING INSULATOR A7(SE-014826) ; R.KOREA |
| 물품설명 |
ㅇ 물품의 개요
- 반도체 건식 플라즈마 식각공정에 사용되는 하부챔버에 장착되어 플라즈마환경에서 챔버의 내벽을 보호하는 역할을 하는 물품 ㅇ 물품의 형태 및 재질, 제조공정 - 지름 280㎜의 링형상의 물품 - 재질 : 석영(99.99%) - 제조공정 : CNC 1차가공(내/외경, 단부) → 중간세정 → CNC 2차가공(단면, 단차가공) → LAPPING → 검사 → 최종세정 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제84류 주1에서 “실험실용 유리제품(제7017호), 유리로 만든 공업용 기기나 그 밖의 물품과 그 부분품(제7019호나 제7020호)”은 제84류에서 제외하도록 규정하고 있고, 관세율표 제70류 주5에서 “이 표에서 유리에는 석영유리와 용융실리카를 포함한다.”고 규정하고, 제70류 총설에서는 “이 류주 제5호의 “유리”에는 용융석영 또는 기타의 용융실리카를 포함한다.“고 추가적으로 설명하고 있음.
ㅇ 관세율표 제7020호에는 “유리제의 기타 제품”을 규정하고 - 동 호 해설서에서 “이 호에는 이 류의 다른 호 또는 이 표의 다른 류에 분류되지 아니하는 유리제품(유리제부분품을 포함한다)이 분류된다.”고 해설하고 있음. ㅇ 따라서 본 물품은 반도체 건식 플라즈마 식각공정에서 하부챔버에 장착되어 내벽을 보호하는 역할을 하는 물품으로 석영유리로 만든 기타의 제품에 해당하므로 관세율표해석에관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제7020.00-1019호에 분류함. |
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