| 참조번호 | 품목분류3과-2236 |
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| 시행일자 | 2015-08-18 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9012.10-1010 |
| 품명 | Focused ion beam(HELIOS460HP) |
| 물품설명 |
○ SEM(주사전자현미경)으로 웨이퍼를 관찰하면서 FIB으로 Milling, Cutting 등의 작업을 수행하여 불량 분석용 시료제작 하는 기능과 절단된 시료를 관찰하여 불량을 분석함
○ 작동원리 ① 시료를 작업자가 Loadlock에 장착하면 Chamber로 이동 ② Chamber에서 Ion Beam과 Electron Beam이 주사 - 전자총에 High Voltage를 인가하여 전자원을 만들고, 이 전자원을 Condensor Lens를 통하여 집속하고 Objective Lens를 통하여 Focusing 한 뒤 시료에 주사 ③ Ion Beam은 시료의 단면을 볼 수 있도록 특정 부위를 Milling 하는데 사용되며 Electron Beam으로는 고배율, 고해상도의 이미지를 얻음 ○ 구성요소 - Chamber : 웨이퍼 시료가 Loading되어 작업이 진행되는 작업실 - Loadlock : 웨이퍼 시료를 Chamber로 이송하기 위한 Loading 또는 Unloading - Ion Column, Electron Column : Ion 및 Electron을 발생 - Pump : Chamber를 진공상태로 유지 |
| 결정사유 |
○ 관세율표 해설서 제90류 주 제3호에 “재16부의 주 제3호와 제4호는 이 류에도 적용한다”고 규정함
- 본 물품은 FIB(Ion Beam)와 SEM(Electron Beam)이 결합된 복합기계로 반도체 웨이퍼의 불량 분석에 목적이 있으므로 고배율의 이미지를 관찰할 수 있는 SEM에 주된 기능이 있음 ○ 관세율표 해설서 제9012호의 용어에 “광학현미경 외의 현미경과 회절 기기”를 분류하도록 규정함 - 같은 호 해설서 “(A) 전자현미경 : 광선대신에 전자의 빔(beam)이 사용되는 점에서 광학현미경과는 다르다”고 설명하면서 - 전자현미경의 표준형은 “(1) 전자를 방출하고 가속하는 장치(잔자총으로 불리운다), (2) 정전식 또는 전자식의 렌즈로 구성된 장치, 이들은 집광기, 대물경 및 투영기로서 작동한다, (3) 시료재물대, (4) 전자관내에 진공을 유지시키는 진공펌프, (5) 상을 형광스크린에 반영시켜 육안으로 관측 및 사진으로 기록하기 위한 기구, (6) 전자빔을 제어하거나 조정해주는 장치를 지지해주는 제어대 및 패널”이 일체로서 동일프레임에 내장되어 조립된 것이라고 설명함 ○ 본 물품은 웨이퍼의 불량을 분석하는 전자현미경으로 “일렉트론 빔 현미경(반도체 웨이퍼나 레티클의 취급과 이송용으로 특별히 고안된 장치가 부착된 것으로 한정한다)”에 해당하므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호(제90류 주3호, 제9012호의 용어) 및 제6호에 따라 HSK 9012.10-1010호에 분류함 |
| 이미지건수 | 1 |
| 관련 이미지 |
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