| 참조번호 | 품목분류2과-6269 |
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| 시행일자 | 2015-08-08 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.40-3010 |
| 품명 | Automatic machines for transport of semiconductor wafers; Wafer Packing System(WPC EVO); FRANCE |
| 물품설명 |
ㅇ 반도체소자 제조용 웨이퍼를 FOUP(Front Opening Unified Pod : 공정 내 웨이퍼 운송용기) 또는 FOSB(Front Opening Shipping Box : 공정 외 웨이퍼 운송용기)와 Canister 상호간 Packing·Unpacking·Sorting 용도로 이송하는 기기
ㅇ 기능 - Wafer Handling : 웨이퍼 취급과 이송 - Wafer Alignment : 웨이퍼 자동 정렬 - Wafer Identification : 웨이퍼 ID를 OCR로 인식 - Wafer Buffering : FOUP(FOSB)에 웨이퍼를 최대 25매까지 보관 ㅇ 작동 원리 - 웨이퍼가 담긴 FOUP(FOSB)를 Load Port에 Loading하면 Wafer Transfer Robot이 웨이퍼를 1매씩 장비 내부로 이송 - 이송된 웨이퍼를 Aligner와 OCR에서 정렬하고 웨이퍼 ID를 인식 - 확인된 ID로 Canister에 웨이퍼를 Loading - Interleaf Transfer Robot을 이용하여 웨이퍼 위에 Interleaf를 Loading - 모든 웨이퍼의 이송이 완료되면 작업자가 Canister를 꺼내 뚜껑을 닫음 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제84류 주 제9호 다목에서 "3) 보울(boule), 웨이퍼(wafer), 반도체디바이스, 전자집적회로와 평판디스플레이의 권양(捲揚), 취급, 적하(積荷)나 양하(揚荷)에 전용되거나 주로 사용되는 기계는 제8486호에 분류한다."라고 규정하고 있고,
- 또한 관세율제 제84류 주 제9호 라목에서 "제16부의 주 제1호와 제84류의 주 제1호의 규정에 따라 적용될 호가 정하여지는 경우를 제외하고, 제8486호의 표현을 만족하는 기계는 이 표의 다른 호로 분류하지 않으며, 제8486호로 분류한다."고 규정하고 있음 ㅇ 관세율표 제8486호에는 "반도체 보울 또는 웨이퍼·반도체디바이스·전자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기 및 부분품과 부속품"이 분류되고, - 같은 호 해설서에서 "(D) 이 류의 주 제9호 다목에서 규정한 기기. 이 그룹에는 다음 용도에 전용 또는 주로 사용되는 기기가 포함된다. 예를 들면, ...(중략)... (3) 봉, 웨이퍼, 반도체 디바이스, 전자집적회로 및 평판디스플레이의 권양, 하역, 양하 및 적하용의 기기 (예를 들면, 반도체 웨이퍼, 웨이퍼 카세트, 웨이퍼 박스 및 기타 반도체 디바이스용 원료를 운송, 하역 및 저장하기 위한 자동 원료하역기 등)"라고 해설하고 있음. ㅇ 따라서, 본 물품은 반도체소자 제조용 웨이퍼를 이송, 핸들링, 분류하기 위해 전용 또는 주로 사용하는 기기이므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 따라 제8486.40-3010호에 분류함. |
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