| 참조번호 | 품목분류2과-5177 |
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| 시행일자 | 2015-07-08 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.20-9900 |
| 품명 | IMPRINT MACHINE(ST50S-LED) |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
본 건 물품은 패턴이 형성된 RESIN MOLD를 WAFER에 압착시켜 반도체 소자패턴을 형성하는 장비로, 패턴이 형성된 ROLL형태의 SOFT RESIN MOLD FILM을 삽입하여 WAFER상에 RESIN MOLD FILM을 압착 그 패턴이 동일하게 WAFER에 형성되도록 하는 역할을 수행함 * Imprint : Resin이 코팅된 Wafer에 패턴이 형성된 Resin mold를 압착시켜 패턴을 형성(기존 Stepper를 이용하여 패턴을 형성하는 방법에 비해 현상공정 생략 가능) ㅇ 제품사양 - Imprint system : UV imprint - Throughput : 30wafer/hour, cassette to cassette handling system - Wafer size : ~4인치(modify에 의한 6인치 가능) - Mold : flexible mold(film type resin mold) using roll type mold - Press force : 50kN(serbo motor controlled) - 크린룸 환경 : class 100 ㅇ 구성 - LOADER, UNLOADER : WAFER를 본 장비에 공급 및 배출 - UNWINDER, REWINDER : RESIN MOLD FILM을 공급 및 배출 - ROBOT ARM : WAFER를 CHAMBER로 운반 - PRE-ALIGN : WAFER의 위치 조정, 정렬 - CHAMBER : FILM과 WAFER가 압착되는 공간 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제84류 주9호 다목에서 “제8486호에는 보울, 웨이퍼, 반도체 디바이스, 전자집접회로와 평판디스플레이의 권양, 하역, 적하 또는 양하의 용도에 전용 또는 주로 사용되는 기계를 분류한다”라고, 라목 에서 "제16부의 주 제1호와 제84류의 주 제1호의 규정에 따라 적용될 호가 정하여지는 경우를 제외하고, 제8486호의 표현을 만족하는 기계는 이 표의 다른 호에 분류하지 아니하며, 제8486호에 분류한다.“라고 규정 하고 있음
ㅇ 관세율표 제8486호에는 ‘반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품'이 분류되며, 소호 제8486.20호에 '반도체디바이스나 전자집적회로 제조용 기계와 기기'를 세분류하고 있음 - 같은 호 해설서에 "이 호에는 반도체 볼 또는 웨이퍼·반도체디바이스·전자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계와 기기를 분류한다.“라고 설명하면서, ‘(B)반도체 디바이스 또는 전자집적회로 제조용 기계외 기기, (4)석판인쇄 장비 : 감광액이 도포된 반도체 웨이퍼 표면에 회로모형을 전사하는 기계’를 예시하고 있음 ㅇ 본 건 물품은 패턴이 형성된 RESIN MOLD를 WAFER에 압착시켜 반도체 소자패턴을 형성하는 장비로서, 노광 및 현상이 필요하지 않은 장비임 ㅇ 따라서 본 건 물품은 기타의 반도체디바이스나 전자집적회로제조용 기계와 기기이므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 제8486.20-9900호에 분류함. |
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