| 참조번호 | 품목분류2과-4536 |
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| 시행일자 | 2015-06-22 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8543.70-9090 |
| 품명 | Other electrical machines and apparatus; AUTO MATCHING UNIT; AMV-1000-27M-ASMGK-L/R, AMV-1201-ASMGK-L/R; R.KOREA |
| 물품설명 |
고주파 전원 장치(RF Generator)에서 동축 선로를 통하여 공급받은 고주파 전력을 반도체 장치의 챔버에 효율적으로 전달하기 위하여 양측의 임피던스가 같아지도록 하는 자동 정합 장치
- 용도 : 반도체 제조 공정 중 화학 기상 증착* 장치에서 기체상태의 화합물을 분해하기 위하여 RF(Radio Frequency : 고주파) 플라즈마를 이용하는데, 이 플라즈마를 발생하기 위한 에너지인 고주파 전력을 고주파 전원 장치로부터 동축 선로를 통하여 공급받아 자동 정합 기능을 통하여 고효율의 플라즈마를 형성하고 반도체 기판(Si Wafer) 위에 화합물을 증착하는데 사용함 ＊화학 기상 증착(CVD : Chemical Vapor Deposition) : 기체상태의 화합물을 분해한 후 화학적 반응에 의해 반도체 기판 위에 박막을 형성하는 공정 - AC 200V 전원을 공급받아 구동 전원으로 사용하며, 고주파 전원장치로부터 전력이 입력되면 자동으로 정합 동작을 행하며 전력의 공급이 중단되면 정합 동작도 중단됨. |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8543호에는 "그 밖의 전기기기(이 류에 따로 분류되지 않은 것으로서 고유의 기능을 가진 것으로 한정한다)"가 분류되며,
- 같은 호 해설서에서 "이 호에는 이 류의 다른 호에 해당되지 않고 품목분류표의 다른 류의 호에 특히 분류되지 않으며 또한 제16부 또는 이 류의 법정 주를 적용하여도 제외되지 아니하는 모든 전기기기가 포함된다."고 해설하고 있음. ㅇ 본 품은 고주파 전원 장치에서 공급받은 고주파 전력을 반도체 장치의 챔버에 효율적으로 전달하기 위한 자동 정합 장치로서, 고유한 기능을 가진 전기기기에 해당하므로 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 의거 제8543.70-9090호에 분류함. |
| 이미지건수 | 2 |
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