| 참조번호 | 품목분류3과-1620 |
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| 시행일자 | 2015-06-18 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9027.30-1000 |
| 품명 | HMS(Health Monitoring System), Smart HMS |
| 물품설명 |
○ 물품개요
반도체 및 LCD 제조 공정 과정에서 기판 위에 새로운 막(Film)을 형성하는 화학 기상 증착*(CVD : Chemical Vapor Deposition)시 진공 챔버 내부에 Leak가 발생하여 외부로부터 불순물(질소,산소 등)이 챔버내부로 유입되면 화학 기상증착(CVD)에 전달해 주는 장비 - 용도 : CVD의 진공 챔버내의 플라즈마에서 발생하는 광을 광학방사 분광법 (OES : Optical Emission Spectroscopy, 파장 200nm ~850nm 대역의 빛을 방출)을 이용하여 증착 공정 중 Leak가 발생했는지를 실시간 분석 진단하는 역할 수행 * 화학 기상 증착(CVD : Chemical Vapor Deposition) : 반도체 등의 집적회로(IC) 제조공정에서 열ㆍ전기로 원료 가스의 화학작용을 일으켜 웨이퍼 상에 박막을 형성하는 공정임 → CVD공정 중 챔버 내부는 고진공상태이며, 외부는 대기압이므로 Leak가 발생할 경우 압력 차에 의하여 외부의 대기(질소,산소 등)가 챔버 내부로 유입되는데 대기 중의 원소는 정상적이었던 플라즈마의 상태를 비정상적으로 바꾸어 막질을 훼손시킬 수 있어 Leak가 발생했는지 진단하여야 하므로 신청물품 사용함 ○ 구성 요소 및 기능 ？ 메인 컨트롤부(5,6) : - CCD Module의 Spectrometer에서 전달받은 정보를 연산 및 분석하는 장치로 HMS 구동 소프트웨어가 설치되어 있어 각 데이터 분석, 비교 하는 본체부와 주변기기(키보드, 마우스, LCD 모니터 구성) ？ 수광 및 광신호 처리부(1,2,3) : - Optical Fiber(1),Bracket(2) : CVD 진공 챔버에 고정 및 장착되어 진공챔버 내부에 있는 빛의 정보를 수광하여 Spectrometer에 전달하는 장치 - CCD Module(3) : Optical Fiber를 통해 챔버 내 플라즈마 빛의 정보를 받아 드리며 받아드린 빛의 정보를 전기적 시그널로 변환하여 본체부에 전달함 ？ Accessary Part(4,5,8) : - 본체와 수광부(Optical Part)간 통신을 위한 케이블 및 부속기기 등 |
| 결정사유 |
ㅇ 신청물품은 반도체 전공정과 LCD 제조공정 과정에서 기판 위에 새로운 막(Film)을 형성하는 화학 기상 증착(CVD)시 사용되는 물품으로 챔버내의 플라즈마에서 발생하는 광을 광학방사 분광법 (OES : Optical Emission Spectroscopy)의 원리를 이용하여 챔버 내의 Leak가 발생했는지를 플라즈마에서 방출되는 광을 분광하여 내부 플라즈마 상태를 실시간 모니터링하는 기기로서 200nm~ 850nm 파장대역의 광을 측정하는 물품임
- CVD Chamber 내에서 플라즈마 광을 수광하고 처리하기 위한 수광부와 수신된 광 데이터를 토대로 Leak가 발생했는지를 산출하기 위한 컨트롤 부, 각 장비간 연결 및 통신을 위한 케이블 등으로 구성된 물품으로 - 관세율표 84류 주5. 마항에 “ 마. 자동자료처리기계와 결합되거나 연결되어 자료처리 외의 특정한 기능을 수행하는 기계는 각각의 고유한 기능에 따라 해당 호로 분류한다.”라고 규정하고 있어, 본 물품의 구성품인 컨크롤 부는 Smart HMS 장비의 플라즈마에서 방출되는 광을 분광하여 측정하는 특정한 기능을 수행하는 구성품으로서 고유한 기능에 분류하여야 함 ㅇ 관세율표 제9027호에는 “물리 또는 화학 분석용의 기기(예:편광계,굴절계, 분광계, 가스 또는 매연 분석기), 점도ㆍ포로서티ㆍ팽창ㆍ표면장력등의 측정 또는 검사용의 기기와 열ㆍ소리ㆍ빛의 양의 측정 또는 검사용의 기기”가 분류되며 - 같은 호 해설서는 “(5)분광계: 분광하는 발열스펙트러 또는 흡수스펙트러의 파장 측정용 장치이다. 주로 조정 슬릿 콜리메이터어(slit collimater)·수개의 조정 프리즘·망원경 및 프리즘대로 되어 있다. 적외선 또는 자외선의 분석용 어떤 분광계 에는 프리즘 또는 회절격자가 부착되어 있다.”를 이 호에 분류토록 규정하고 있음 ㅇ 따라서 본 물품은 CVD의 진공 챔버내의 플라즈마에서 발생하는 광을 광학 방사 분광법 (OES : Optical Emission Spectroscopy)의 원리를 이용하여 플라즈마의 조성 상태와 변화 등을 측정하는 분광계로서 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 의거 제9027.30-1000호로 분류함 |
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