| 참조번호 | 품목분류3과-1619 |
|---|---|
| 시행일자 | 2015-06-18 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9027.30-1000 |
| 품명 | EPD(End Point Detector), Smart EPD |
| 물품설명 |
○ 물품개요
반도체 및 LCD 공정에서 Plasma를 이용하여 식각* 공정을 하는 Etch장비의 식각 종료 시점을 결정하여 종료시점을 식각기(etcher)에 전달해 주는 장비 - 용도 : 식각기의 진공 챔버 내의 플라즈마에서 발생하는 광을 광학방사 분광법 (OES : Optical Emission Spectroscopy, 파장 200nm ~850nm 대역의 빛을 방출)을 이용하여 실시간 분석으로 식각 종료 시점을 진단하는 역할 수행 * 식각(Etching) : 반도체 칩이나 LCD TV를 만드는 한 과정 중 하나로써 주로 실리콘 기판 혹은 LCD용 유리기판 위에 원하는 모양을 형성하기 위해 불필요한 부분을 제거하는 공정임 → 식각 공정 중 식각 대상막의 아래층 막을 과도하게 식각하는 경우 불량(누설전류, 오작동 등)이 발생 할 수 있으므로 식각 공정에서 정확한 식각 종료점을 정확히 진단하는게 중요하여 신청물품 사용함 ○ 구성 요소 및 기능 ？ 메인 컨트롤부(G,H,I) : - Spectrometer에서 전달받은 정보를 연산 및 분석하는 장치로 EPD 구동 소프트웨어가 설치되어 있어 각 챔버별로 데이터 분석, 비교, Sub Controller 유지/관리하는 본체부와 주변기기(Main Controller(G), 키보드, 마우스, LCD 모니터, KVM Switch*(H)로 구성) * KVM Switch : 키보드와 마우스를 연결하여 여러개의 Sub Controllr를 작동시킬수 있도록 하는 장치 ？ 수광 및 광신호 처리부(A~E) : - Sub Controller(D) : 내부에 Spectrometer가 결합되어 있는 형태로서 Optical Fiber를 통해 챔버 내 플라즈마 빛의 정보를 받아드리며 받아드린 빛의 정보를 전기적 시그널로 변환하여 본체부에 전달함 - Optical Fiber(C), 렌즈(B) : 진공챔버 내부에 있는 빛의 정보를 수광하여 Spectrometer에 전달하기 위한 장치 ？ Accessary Part(F,J) : - 본체와 수광부(Optical Part)간 통신을 위한 케이블 및 부속기기 등 ○ 작동원리(ex) 식각기의 진공 챔버 내부에 Gas(CF₄) 투입→ 원자로부터 전자를 분리, 결합 과정 반복하여 플라즈마 상태 사용 → 플라즈마 내부에 있는 전자, 이온등을 이용하여 웨이퍼 위의 물질과 반응시켜 제거 → 이 플라즈마 상태에서는 어떠한 원자를 사용하였는가에 따라 다양한 색상의 빛을 외부로 방출 → 이때 Gas 상태로 주입한 물질과는 다른 색상의 빛이 발생(식각 과정 중 기판에서 떨어져 나온 물질이 플라즈마 상태를 이루며 만들어 짐) → 이 빛은 식각이 진행 되는 시간 동안 지속적으로 발생하며 , 시간의 경과에 따른 변화를 측정하여 식각 종료 점을 검출함(즉, 공정시 발생하는 화학적 부산물에 의해 발행하는 빛의 파장을 실시간 진단하여 식각 종료시점 검출) |
| 결정사유 |
ㅇ 신청물품은 반도체 전공정과 LCD 제조공정 중 식각공정에서 원하는 유기 박막을 제거하는 공정에 사용되는 물품으로 식각기의 진공 챔버내의 플라즈마 에서 발생하는 광을 광학방사 분광법 (OES : Optical Emission Spectroscopy)의 원리를 이용하여 챔버 내의 플라즈마에서 방출되는 광을 분광하여 내부 플라즈마 상태를 실시간 모니터링하는 기기로서 200~850nm 파장대역의 광을 측정 하는 물품임
- 식각기 Chamber 내에서 플라즈마 광을 수광하고 처리하기 위한 수광부와 수신된 광 데이터를 토대로 정확한 종료점을 산출하기 위한 컨트롤 부, 각 장비간 연결 및 통신을 위한 케이블 등으로 구성된 물품으로 - 관세율표 84류 주5. 마항에 “ 마. 자동자료처리기계와 결합되거나 연결되어 자료처리 외의 특정한 기능을 수행하는 기계는 각각의 고유한 기능에 따라 해당 호로 분류한다.”라고 규정하고 있어, 본 물품의 구성품인 컨크롤 부는 Smart EPD 장비의 플라즈마에서 방출되는 광을 분광하여 측정하는 특정한 기능을 수행하는 구성품으로서 고유한 기능에 분류하여야 함 ㅇ 관세율표 제9027호에는 “물리 또는 화학 분석용의 기기(예:편광계,굴절계, 분광계, 가스 또는 매연 분석기), 점도ㆍ포로서티ㆍ팽창ㆍ표면장력등의 측정 또는 검사용의 기기와 열ㆍ소리ㆍ빛의 양의 측정 또는 검사용의 기기”가 분류되며 - 같은 호 해설서는 “(5)분광계: 분광하는 발열스펙트러 또는 흡수스펙트러의 파장 측정용 장치이다. 주로 조정 슬릿 콜리메이터어(slit collimater)·수개의 조정 프리즘·망원경 및 프리즘대로 되어 있다. 적외선 또는 자외선의 분석용 어떤 분광계 에는 프리즘 또는 회절격자가 부착되어 있다.”를 이 호에 분류토록 규정하고 있음 ㅇ 따라서 본 물품은 식각기의 진공 챔버내의 플라즈마에서 발생하는 광을 광학 방사 분광법 (OES : Optical Emission Spectroscopy)의 원리를 이용하여 플라즈마의 조성 상태와 변화 등을 측정하는 분광계로서 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 의거 제9027.30-1000호로 분류함 |
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