| 참조번호 | 품목분류3과-1439 |
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| 시행일자 | 2015-05-27 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-4010 8419.89-9020 |
| 품명 | CHUCK SYSTEM, ERS AC3 300mm Chuck system for UF3000EX, AC3 300mm |
| 물품설명 |
반도체 웨이퍼를 테스트하기 위하여 사용되는 웨이퍼 운송장치인 Prober Station를 구성하는 물품중 신청물품은 ①ERS Chuck, ②ERS Controller, ③ERS Chiller로 각각 분리되어 제시됨
① ERS Chuck : 니켈재질의 둥근원형판상으로 표면에 원형으로 된 진공 홈 (vacuum grooves)이 가공되어 있으며, 3개의 배관(공기관)과 결합되어 있는 것으로 웨이퍼를 이송하기 위하여 진공흡착하는 용도의 물품 (모델명 : TA1TC300M, 규격 : Diameter: 306mm, Height: 47mm, 무게 : 12Kg) ② ERS Chiller : Prober Station의 외부에 설치되는 것으로 Prober Station의 Chuck에 발생하는 고열을 식혀주기 위하여 냉각공기 공급을 하여 Chuck을 냉각시켜 주는 냉각기(보텍스* 냉각원리 이용)로서 냉각공기을 Chuck의 배관 으로 이송. 순환시켜주는 기기임 (모델명 : AC3 Chiller TS010, 규격 : 422*500*1020mm, 무게 : 140Kg) * Vortex tube(보텍스튜브) - 좁은 관 안에 접선형으로 고압 공기를 불어넣어 고온기류와 저온기류를 분리해서 얻을 수 있는 장치(공조냉동건축설비 용어사전) ③ ERS Controller : Prober Station 내부에 있는 제어부가 Controller에 지시 신호를 보내면, 신호를 받은 Controller는 Chiller를 구동시켜 차가운 냉기를 Chuck를 보내주는 조절부(-40℃ ~ 200℃의 온도 조절 가능)(모델명 : RSI T300-EX) |
| 결정사유 |
ㅇ 신청물품은 반도체 웨이퍼를 테스트하기 위하여 사용되는 웨이퍼 운송 장치인 Prober Station를 구성하는 물품으로 웨이퍼를 이송하기 위하여 진공흡착하는 ERS Chuck과 Prober Station의 테스트에 적합한 환경에 맞게 냉각공기 공급을 하기 위한 냉각기와 냉각기Controller로 분리되어 제시됨
ㅇ 관세율표 제16부 총설에서 "2종 이상의 다른 기기로 구성되는 복합기계"는 그 복합기계의 주기능에 따라 분류토록 해설하고 있으나, "기계의 집합체는 기계가 서로 결합되거나 동상·동일 프레임, 동일 하우징 등에 영구적으로 부착되도록 제작되어 있지 않는 한 일체 구조로 함께 결합된 것으로 취급되지 아니한다."라고 해설하고 있으므로 본 품은 복합기계에 해당하지 않아 각각 분류하여야 함 ㅇ 본 품 구성 중 ①ERS Chuck에 대해서 살펴보면, ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)ㆍ반도체 디바이스ㆍ전자집적회로ㆍ평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류됨 ㅇ 따라서 웨이퍼를 이송하기 위하여 진공흡착하는 ERS Chuck의 상위 모체인 Prober Station는 반도체 웨이퍼 운송 장치(제8486.40-3010호)에 분류되는 물품으로 ERS Chuck은 반도체 웨이퍼 핸들링기기의 부분품으로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 의거 제8486.90-4010호에 분류함 ㅇ 또한, 본 품 구성 중 ②ERS Chiller과 ③ ERS Controller에 대해서 살펴보면, ㅇ 관세율표 제16부 총설에서 “주기기와 함께 제시되는 부속기기(예: 압력계·온도계·액면계 또는 기타의 측정용 또는 검사용기기·출력계·시계장치식 스위치·컨트롤패널·자동조절기)로서 보통 주기기에 종속되는 것은 주기기와 함께 분류된다. 이들 부속기기들은 하나의 특정기계를 측정·검사·제어 또는 조절하도록 설계제작된 것이어야 한다.”고 규정하고 있음 ㅇ 신청 물품은 반도체웨이퍼 테스트 공정에서 테스터와 연결되어 사용되는 Prober Station의 Chuck을 테스트에 적합한 환경에 맞게 보텍스 냉각원리를 이용하여 냉각공기 공급을 하여 Chuck을 냉각시켜 주는 냉각기와 냉각기의 온도를 -40℃~200℃의 조절하는 Controller로서 주기기인 냉각기 본체와 함께 분류되어야 함 ㅇ 관세율표 제8419호에는 “가열·냉각 및 기타 온도변화에 의한 방법으로 재료를 처리하는 기계”가 분류되며, 동 호 해설서는 “이 호에는 단순히 온도의 변화만을 일으키게 하기 위하여 또는 온도의 변화(예 : 가열, 냉각공정 등)의 결과로 재료가 변형되도록 하기 위하여 재료(고체·액체· 기체)를 가열 또는 냉각공정에 놓도록 제작된 기계와 설비가 포함된다.”라고 해설하고 있음 ㅇ 따라서 피측정물(Tester의 chukc)를 냉각시키기 위하여 차가운 냉기를 보내어 냉각시켜주는 물품으로 기타의 냉각기로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 의거 제8419.89-9020호에 분류함 |
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