| 참조번호 | 품목분류2과-3291 |
|---|---|
| 시행일자 | 2015-05-15 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | Electricstatic chuck; D102-32762A; SS12RMO REV A KSP1-112952 |
| 물품설명 |
반도체 제조장비 둥 반도체 웨이퍼를 식각하는 장비에 장착되어 정전기적인 힘을 이용하여 웨이퍼를 고정해 주는 물품으로 초진공상태의 챔버 내에서 정전척의 하부전극에서 정전기를 발생시켜 웨이퍼와 하부전극의 간격을 일정하게 유지, 웨이퍼를 수평상태로 고정시켜줌
알루미늄제 원판상으로 내부는 유전체(알루미나 코팅) 사이에 전극이 삽입되어 있으며 플레이트와 바디를 관통하는 다수의 핀홀 및 gas path(He 통로)와 냉각을 위한 Cooling path를 구성하고 있음 |
| 결정사유 |
ㅇ 본 물품은 반도체 제조장비인 건식 식각장비의 챔버 내에 장착되어 웨이퍼를 수평으로 유지하며 고정시키기 위한 물품임
ㅇ 관세율표 제8486호에는 "반도체 보울 또는 웨이퍼ㆍ반도체디바이스ㆍ전자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기 및 부분품과 부속품"이 분류되며, 소호 제8486.90호에는 "부분품과 부속품"을 세분류하고 있음 ㅇ 같은 호 해설서에서 (E)항 ‘부분품 및 부속품’에 대한 내용에서는 "부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류되는 기계 및 기기의 부분품과 부속품을 포함한다. 이에 따라 이 호에 분류되는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계 및 기기에 전용 또는 주로 사용되는 툴홀더 및 기타 특수 부착물 등이 포함된다."라고 해설하고 있음 ㅇ 따라서, 본 물품은 반도체 제조장비인 식각장비에 장착되는 부분품에 해당하므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 의하여 제8486.90-2010호에 분류함 |
| 이미지건수 | 4 |
| 관련 이미지 |
|