| 참조번호 | 품목분류2과-349 |
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| 시행일자 | 2015-01-16 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | parts of Resistance heated furnaces and ovens ; FAN FILTER UNIT, FU-INSDF-L-K-FE-1B ; R.KOREA |
| 물품설명 |
o 물품개요
- 반도체 웨이퍼의 산화공정 등에 사용되는 열처리 성막장치(TELFORMULA)의 하우징에 결합되는 도어부 물품임 - TELFORMULA장치 내에서 웨이퍼 표면을 급속 산화, Ulatra-thin 게이트 절연막 형성(산화, 질화)등을 끝낸 가열된 웨이퍼를 본 물품이 팬모터 구동에 의해 장치내 뜨거운 열을 배출하고 외부에서 공기를 ULPA필터를 통과시켜 클린도 높은 공기로 송풍시켜 주는 기능을 함 o 물품 장착이미지 [신청물품] [열처리장치TELFORMULA] |
| 결정사유 |
o 본 물품은 반도체 웨이퍼 산화공정 등에 사용되는 열 처리 성막장치(TELFORMULA)의 하우징에 결합되는 도어부 물품으로 TELFORMULA장치 내에서 웨이퍼 표면 급속 산화, Ulatra-thin 게이트 절연막 형성(산화, 질화)등이 끝난 상태에서 웨이퍼를 서서히 식혀주기 위하여 본 물품이 팬모터 구동에 의해 장치내 뜨거운 열을 배출하고 외부에서 공기를 ULPA필터를 통과시켜 클린도 높은 공기로 송풍시켜 주는 기능을 함
o 관세율표 제16부 주 제2호 나목에는 “그 밖의 부분품으로서 특정한 기계나 동일한 호로 분류되는 여러 종류의 기계(제8479호나 제8543호의 기계를 포함한다)에 전용되거나 주로 사용되는 부분품은 그 기계가 속하는 호나 경우에 따라 제8409호ㆍ제8431호ㆍ제8448호ㆍ제8466호ㆍ제8473호ㆍ제8503호ㆍ제8522호ㆍ제8529호ㆍ제8538호로 분류한다.”라고 규정하고 있음 o 관세율표 제8486호에는 “ 반도체 보울 또는 웨이퍼ㆍ반도체디바이스ㆍ전자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용 되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기 및 부분품과 부속품”이 분류되며, 제8486.90호에는 부분품 및 부속품이 세분류 하고 있음 - 같은호 해설서 (B) 반도체 디바이스 또는 전자집적회로 제조용 기계와 기기에는 "이 그룹에는 반도체 디바이스 또는 전자집적 회로를 제조하기 위한 기계 및 기기가 분류된다. 예를 들면 ,(1) 막 형성 장비 : 이 장비는 웨이퍼 가공 공정에서 웨이퍼 표면에 여러가지 막을 형성한다. 이러한 막은 완성된 디바이스 상에서 도체, 절연체 및 반도체 역할을 한다. 이들 막은 표면, 금속 및 에피택셜층의 산화물과 질화물 등을 포함하고 있다. 아래에 예시한 공정과 장비들은 특정 타입의 막만을 생성하도록 제한된 것은 아니다.....(a) 산화로 : 웨이퍼 위에 산화막을 형성한다. 이 산화물은 인가된 산소와 증기로 웨이퍼 최상층 분자층에 화학반응으로 형성된다.“등을 예시하고 있음 o 따라서 본 물품은 반도체 웨이퍼의 열처리 성막장치(TELFORMULA)에 전용 또는 주로 사용되는 부분품이므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 따라 제8486.90-2010호에 분류함 |
| 이미지건수 | 2 |
| 관련 이미지 |
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