| 참조번호 | 품목분류2과-6949 | ||||
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| 시행일자 | 2014-10-17 | ||||
| 시행기관 | 관세평가분류원 | ||||
| 결정세번 | 9032.89-9090 | ||||
| 변경내역 |
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| 품명 | Other automatic controlling instrument ; Flow Controller ; MP-FCHR-ME0400M-200 | ||||
| 물품설명 |
- 물품 개요 : 반도체 공정 중 세정기에 정착되어 세척을 위한 약액의 토출 유량을 조절하기 위한 장치로 CONTROL VALVE, 유량계, 전공 변환부, 연산부 등으로 구성되어 있음.
- 작동흐름도 : CONTROL VALVE로 투입된 유체는 일정한 압력 조정되어 토출됨 → FLOW SENSOR에서 통과하는 유체의 양을 측정하여 연산부에 전송 → 목표하는 유체의 양과 비교하여 전공변화부에 공기압 조정 지시 → 조정된 공기압으로 인해 CONTROL VALVE에서 토출되는 유량 조정(Feed back) → 최종 배압제어 밸브를 통해 일정한 압력으로 최종 토출 - 개별 구성 요소별 기능 및 작동원리 ① Control valve(HICV) : 상부 입구로 공급된 공기 압력↓과 하단부에 장착되어 있는 스프링의 탄성↑ 그리고 투입되는 유체의 압력의 힘이 서로 상호작용하며 토출되는 유체의 압력을 일정하게 유지시킴 ② Flow Sensor(FS) : 차압을 검출소자로 측정하는 차압식 유량계 ③ 배압제어밸브(HIRM) : 상부에 장착된 스프링의 탄성↓과 유입되는 유체의 압력↑의 상호작용으로 유량센서를 통과하여 토출된 유체의 압력을 일정하게 유지됨. ④ 전공변환부 : Control valve 상부에 탑재되며 공급용 전자밸브와 배기용 전자밸브 2개의 작동을 통해 control valve로 공급하는 공기압을 조정하는 장치 |
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| 결정사유 |
- 관세율표 제90류 주7에서 “제9032호는 다음물품에 한하여 적용한다”고 규정하면서, “가.액체 또는 기체의 유량, 깊이, 압력 또는 기타 변량의 자동제어용 기기 또는 온도의 자동제어용기기(자동제어하여야 할 요소에 따라 변화하는 전기적 현상에 의하여 작동하는 것인지의 여부를 불문한다)”라고 설명함
- 관세율표 제9032의 용어에 “자동조절용 또는 자동제어용의 기기”를 규정하고 있고, 동 호의 해설서에서 “액체 또는 기체용의 자동제어장치와 온도 자동조정장치는 완전한 자동제어장치의 일부를 형성하고 있으며 주로 다음의 장치로 구성된다. (A)탱크의 압력 또는 수위, 실내의 온도 등의 조절해야 할 변량을 측정하는 장치 (중략) (B)희망치와 측정치를 비교하고 또한 아래 (C)에 기재된 장치를 작동시키는 제어장치. (C)기동장치·정지장치 또는 조작장치”라고 해설하고 있음 - 본 건 물품은 (A)측정장치(유량계, flow sensor), (B)제어장치(연산부, 전공 변환부), (C)조작장치(control valve, 배압제어 valve) 등으로 구성되어 있는 물품으로서 반도체 공정 중 세정기에 정착되어 세척을 위한 약액의 토출 유량을 조절하기 위한 장치이므로 “유량의 자동조정용기기”로 보아 관세율표해석에 관한 통칙1 및 6에 따라 제9032.89-9090호에 분류함. |
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| 이미지건수 | 1 | ||||
| 관련 이미지 |
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