| 참조번호 | 품목분류3과-1942 |
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| 시행일자 | 2014-09-11 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9030-82-0000 |
| 품명 | Semiconductor Characterization System ;; 4200-SCS/F |
| 물품설명 |
ㅇ 반도체 웨이퍼 및 디바이스의 전기적 특성을 측정하는 장비로 전압/전류/펄스 등을 인가하고 출력된 응답 전기신호를 프로브 스테이션으로부터 전달받아 전류, 전압값을 측정
- 필요에 따라 측정된 전류, 전압값을 운영 프로그램내의 함수식에 대입하여 원하는 결과값을 계산할 수 있고, 도출 결과를 그래프 등 시각적으로 보여줌 - 동작 전압측정, 동작 전류측정, 누설전류 측정, 브레이크다운 전압 측정, 전도도 및 저항 측정, 디바이스 수명 예측, Hot Carrier Test 등 반도체 소자의 성능을 검사하기 위한 데이터 추출을 위해 사용 ㅇ 주요구성요소 ⓛ 4200-SCS : 분석기 본체 ② 4200-SMU : 전압과 전류의 공급 및 측정을 수행하는 모듈 *100㎁~100㎃(200㎷~200V)인가용 Power Source 단자 포함 ③ 4200-프리앰플리 : 공급전류의 범위를 확장(1pA~10nA)시켜 보다 정밀한 전압 및 전류측정을 가능케 함. (4200-SMU에 장착되어 사용) *1㎀~10㎁ 인가용 Pre AMP Option 단자 포함 ④ 4200-Compiler : 유저설계 Test Programming용 Software ⑤ CD-RW : 측정된 데이터 저장장치 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제9030호에는 “오실로스코우프·스펙트럼분석기와 기타 전기적 양의 측정 또는 검사용의 기기(제9028호의 것을 제외한다) 및 알파선·베타선·감마선·엑스선·우주선 또는 기타 전리선의 검사 또는 검출용의 기기”가 분류되며, 제9030.82호에는 “반도체 웨이퍼나 소자의 측정용이나 검사용 기기”가 분류됨
ㅇ 질의 물품은 반도체 웨이퍼 및 디바이스에 전압·전류·펄스 등을 인가하여 동작전압, 동작전류, 누설전류, 브레이크다운전압, 전도도 및 저항 등을 측정함으로써 반도체 소자의 성능 및 불량 여부를 검사하는 물품으로서 - 단순히 기록장치를 갖춘 전압·전류의 측정용 또는 검사용 기기로 볼 수 없고 반도체웨이퍼 또는 소자의 측정 또는 검사용 기기로 분류하여야 함 ㅇ 따라서, 쟁점 물품은 그 밖의 반도체 웨이퍼나 소자의 측정 또는 검사용 기기로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 따라 HSK 9030.82-0000호에 분류함 |
| 이미지건수 | 1 |
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