| 참조번호 | 품목분류3과-1797 |
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| 시행일자 | 2014-08-14 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9011.10-1000 |
| 품명 | Wafer Inspection System ; OPTISTATION-3000(OST-3000) ;; JP |
| 물품설명 |
1) 물품 개요
- 동일 프레임에 현미경, Robot Arm, load port, macro unit이 장착된 물품 2) 기능 및 용도 - 반도체 웨이퍼의 불량 패턴 및 표면의 이물질 검사 3) 물품사진 4) 작동원리 - Load Port에 Wafer가 들어있는 카세트 장착 → Robot Unit이 Wafer를 Macro Unit으로 이송 → Macro Unit에서 Wafer 표면, 후면, 측면 육안검사 → Robot Unit이 Wafer를 Stage Unit으로 이송 → Micro Scope Unit으로 Wafer 이물이나 반도체 패턴 결함을 검사 → Robot Unit이 Wafer를 Load Port로 배출 |
| 결정사유 |
- 관세율표 제16부 주 제3호에는 “두 가지 이상의 기계가 함께 결합되어 하나의 완전한 기계를 구성하는 복합기계와 그 밖의 두 가지 이상의 보조기능이나 선택기능을 수행할 수 있도록 디자인된 기계는 문맥상 달리 해석되지 않는 한 이들 요소로 구성된 단일의 기계로 분류하거나 주된 기능을 수행하는 기계로 분류한다.”라고 규정하고
- 동 부 해설서에서는 “2종 이상의 다른 기기로 구성되는 복합기계로서, 일체가 되도록 함께 결합되어 있고, 일반적으로 그 기능들이 보충적이며 제16부의 다른 호에 기술되어 있는 별개의 기능을 연속적 또는 동시에 수행하는 것도 역시 그 복합기계의 주기능에 따라 분류된다.”라고 해설하고 있는 바, - 본 건 물품은 동일한 프레임에 ‘광학현미경’, ‘Robot Arm’, ‘load port’, ‘macro unit’이 장착된 복합기계에 해당하므로 주기능을 살펴보면, - 패턴이 완성된 웨이퍼의 불량 패턴 및 표면의 이물질을 검사하기 위하여 육안검사가 이루어질 수 있도록 고안된 기계로서 그 기능 및 가격비중을 고려해 볼 때 주기능은 광학현미경에 있는 것으로 판단됨. - 관세율표 제9011호에는 “광학현미경”이 분류되고, - 동 호 해설서에서는 “생산공정에서 사용되는 측정용 또는 검사용의 현미경”을 예시하고 있음. - 따라서 본 건 물품은 반도체 웨이퍼 또는 레티클의 취급과 이송용으로 특별히 고안된 장치가 부착된 입체현미경에 해당하므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1(제9011호의 용어)호 및 제6호에 따라 관세율표 제9011.10-1000호에 분류함. 끝. |
| 이미지건수 | 1 |
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