| 참조번호 | 품목분류2과-2770 |
|---|---|
| 시행일자 | 2014-04-18 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | Chamber Maintenance Wafer ; 0190-40214, 0190-27681 : TW |
| 물품설명 |
- 도프처리된 웨이퍼에 플라스틱 수지를 원심분리 방식으로 도포시킨 것
· 도프처리된 웨이퍼 : 지름 : 200±0.5 mm, 두께 : 725 ±25 um, 도펀트 : P type(Boron) · 플라스틱 수지 : Polyimide, 두께 : 8 ㎛ - 용도 : 반도체용 srhkdrl 내부 척(chuck)에 있는 미립자(파티클) 제거용 |
| 결정사유 |
- 관세율표 제8486호에는 "반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품" 이 분류되고, 동 해설서에서 이 호에는 이 호에 분류되는 기계 및 기기의 부분품과 부속품을 포함하는 것으로 설명하고 있음
- 동 물품은 주로 반도체 웨이퍼상에 회로패턴을 형성하는 노광기(제8486.20-6020호)의 체임버내에서 도프처리된 웨이퍼와 플라스틱 수지가 결합되어 미립자(파티클)를 제거하기 위해 사용되는 부속품이므로 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 의거 제8486.90-2010호에 분류함 |
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