| 물품설명 |
NPG-20KM(generator)와 NPR-362L(reactor)이 케이블로 연결되어, generator에서 RF power를 공급하여 reactor의 내부 plasma tube에 plasma를 발생시키는 물품
- 구성기기
o NPG-20KM(generator): case, PCB, AD convertor, AMP, AUX, combiner 등으로 구성되어 max 20kW까지의 400kHz RF power 출력
o NPR-362L(reactor): case, cooling system, gas input, user port, plasma tube, core 등으로 구성되어 generator가 공급하는 RF power, 즉, 전기장으로 인해 발생되는 자기장을 페라이트코어에서 응집하여 플라즈마 튜브 내부로 전기장을 공급하여 플라즈마를 발생
- 용도 : CVD chamber cleaning
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